‥ silicon nitride Nitride Deposition Contact holes S D G Contact Etch Ion Implantation resist ox D G Scanning ionbeam S Metal Deposition and Etch drain S D G M
‥NIO 시료제작장비 시료제작 Deposition RF magnetron sputtering Target : Cu O, Substrate : Si, SiO , Pt, Gas : Ar 2 Working pressure : 9.8E-4torr Deposition temperature : R.T. ,
‥팅법 열분해법 (CVD:Chemical Vapour Deposition) 이온교환법 무전해도금법 물리적코팅법진공증착법 (PVD : Physical Vapour Deposition)이온 스파터링법 (Ion Sputtering) 유리표면의 Coating기술은 매우 다양하나 현재 사용중인 제조공법으로는 열분해법과 이온 스파터링 공법으로 크게 구별된다. 1) 열분해법(Pyroytic Coating) Hard Coating으로 통용되고 있으며 판유리 제조 과…
‥ion) 공정을 일명 OVD(Outside Vapor Deposition) 공정이라고도 하며 버너로 가열된 회전하는 흑연봉에 유리조성용의 화학증기를 흘려주어 SiO2층을 외부에서부터 증착시켜주는 방법이다. 적당하게 유리조성증기의 비율을 조절함으로써 적당한 굴절률 분포뿐만 아니라 원하는 광섬유 코어와 클래딩의 크기를 갖는 모재를 제작할 수 있다. ② VAD (축증착) 이 방법은 버너 화염 속에서…
[자연과학] 나노 바이오멤스 - Lithography 공정 / Title Lithography 공정 [ Photolithography 공정 기술 ] photolithography에 대해서 알아보기 전에 먼저 전공정과 후공정에 대해서 알아보겠습니다. 전공정은 웨이퍼위에 회로를 만드는 과정이라고 할 수 있고, 후공정은 기판위에 만들어진 회로들을 하나하나씩 자르고 외부와 접속할 선을 연결하고 패키지하는 과정입니다. …
_ I. 東아시아의 越境環境汚染과 環境協力 _ II. 廣域環境犯罪의 刑事訴追에 대한 協力方案(유럽의 사례) _ III. 廣域環境犯罪의 刑事訴追에 대한 國家間 葛藤의 解決方案 _ IV. 國家責任의 立法 FileSize : 17K / _ I. 東아시아의 越境環境汚染과 環境協力 _ II. 廣域環境犯罪의 刑事訴追에 대한 協力方案(유럽의 사례) _ III. 廣域環境犯罪의 刑事訴追에 대한 國家間 葛藤의 解…
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