‥ silicon nitride Nitride Deposition Contact holes S D G Contact Etch Ion Implantation resist ox D G Scanning ionbeam S Metal Deposition and Etch drain S D G M
‥NIO 시료제작장비 시료제작 Deposition RF magnetron sputtering Target : Cu O, Substrate : Si, SiO , Pt, Gas : Ar 2 Working pressure : 9.8E-4torr Deposition temperature : R.T. ,
‥팅법 열분해법 (CVD:Chemical Vapour Deposition) 이온교환법 무전해도금법 물리적코팅법진공증착법 (PVD : Physical Vapour Deposition)이온 스파터링법 (Ion Sputtering) 유리표면의 Coating기술은 매우 다양하나 현재 사용중인 제조공법으로는 열분해법과 이온 스파터링 공법으로 크게 구별된다. 1) 열분해법(Pyroytic Coating) Hard Coating으로 통용되고 있으며 판유리 제조 과…
‥ion) 공정을 일명 OVD(Outside Vapor Deposition) 공정이라고도 하며 버너로 가열된 회전하는 흑연봉에 유리조성용의 화학증기를 흘려주어 SiO2층을 외부에서부터 증착시켜주는 방법이다. 적당하게 유리조성증기의 비율을 조절함으로써 적당한 굴절률 분포뿐만 아니라 원하는 광섬유 코어와 클래딩의 크기를 갖는 모재를 제작할 수 있다. ② VAD (축증착) 이 방법은 버너 화염 속에서…
자동차 공학 - 3차원 형상; 3D 프린터의 종류와 특징 및 활용 / 자동차 공학 - 3차원 형상; 3D 프린터의 종류와 특징 및 활용 3D_printer의 종류와 특징 1. FDM(Fused Deposition Modeling) 방식 FFF방식이라고도 하며 고체 필라멘트 형태의 플라스틱 재료를 고온의 헤드에서 가열하여 노즐을 통하여 압축시킨 후 한 층씩 적층하여 쌓아 올리는 방식이다. 세계 시장 점유율 1위이며 높은…
증착결과 보고서 / 1.실험 방법 ① 모든 밸브가 잠겨있는지 확인한다. ②증착시키려는 소스를 철판 위에 작은 시약 스푼으로 한 스푼 올려놓는다. ③ 셔터를 닫은 상태에서 슬라이드를 끼운다. ④ Rotary Pump Switch를 ON으로 한다. ⑤ Rough Valve를 풀어준다. ⑥ 진공의 정도를 까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다. ⑦ Rough Valve를 잠그고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion…
환원실험 / (2) C-O 계 반응 고로 내에서 화학반응을 이해하려면 먼저 C-O간의 반응을 알 필요가 있다. C는 과잉 의 O2와 반응하면, C+O2=CO2+97.0kcal------------ 식1 와 같이 연소하여 많은 열을 발생한다. 고로의 풍구 앞에서는 이 반응이 먼저 일어난다. 다음에 이 CO2는 과잉의 C와 반응하여 CO가 되면서 급열 한다. CO2+C=2CO-38.2kcal -----------식2 즉, 풍구에서 들어간 O…
박막의 성질을 향상시키기 위한 물리증착과정중의 하나인 PAPVD 공법에 대해서 알아보았습니다. ion-plating제출용 / Plasma-assisted physical vapour deposition (PAPVD) 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. Mattox는 이것을 ion-plating 이라 명명하고, ‘증착전이나 증착과정중에 고에너지의 이온으로 형성되는 유속…
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![[공학,기술] 반도체 공학 - 반도체 공정에 관해서](/View/[공학,기술] 반도체 공학 - 반도체 공정에 관해서_pptx_01_.gif)
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