Lithography °Ë»ö°á°ú

23 °Ç (1/2 ÂÊ)
»ó¼¼Á¶°Ç    ÆÄÀÏÁ¾·ù 

[ÀÚ¿¬°úÇÐ] ³ª³ë ¹ÙÀÌ¿À¸â½º - Lithography °øÁ¤

[ÀÚ¿¬°úÇÐ] ³ª³ë ¹ÙÀÌ¿À¸â½º - Lithography °øÁ¤

[ÀÚ¿¬°úÇÐ] ³ª³ë ¹ÙÀÌ¿À¸â½º - Lithography °øÁ¤ / Title Lithography °øÁ¤ [ Photolithography °øÁ¤ ±â¼ú ] photolithography¿¡ ´ëÇؼ­ ¾Ë¾Æº¸±â Àü¿¡ ¸ÕÀú Àü°øÁ¤°ú ÈÄ°øÁ¤¿¡ ´ëÇؼ­ ¾Ë¾Æº¸°Ú½À´Ï´Ù. Àü°øÁ¤Àº ¿þÀÌÆÛÀ§¿¡ ȸ·Î¸¦ ¸¸µå´Â °úÁ¤À̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ÈÄ°øÁ¤Àº ±âÆÇÀ§¿¡ ¸¸µé¾îÁø ȸ·ÎµéÀ» ÇϳªÇϳª¾¿ ÀÚ¸£°í ¿ÜºÎ¿Í Á¢¼ÓÇÒ ¼±À» ¿¬°áÇÏ°í ÆÐÅ°ÁöÇÏ´Â °úÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ¡¦
·¹Æ÷Æ® > ÀÚ¿¬°úÇÐ   5page   1,500 ¿ø
[°øÇÐ,±â¼ú] ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½ÇÇè - Photo Lithography

[°øÇÐ,±â¼ú] ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½ÇÇè - Photo Lithography

[°øÇÐ,±â¼ú] ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½ÇÇè - Photo Lithography / ½ÇÇè: Photo Lithography 1. ½ÇÇè ¸ñÀû MOS CAPÀ» Á¦ÀÛÇÏ´Â ÀüüÀÇ °øÁ¤¿¡¼­ ¡®Wafer cleaning & Oxidation¡¯ °øÁ¤À» ½Ç½ÃÇÑ ÈÄ Si±âÆÇ À§¿¡ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÎ ¡®Photo lithography¡¯¸¦ ½Ç½ÃÇϸç FE-SEMÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© PR inspectionÀ» ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. À̹ø ½ÇÇè¿¡¼­ PRµÎ²²´Â 1~2micro meter·Î, Developing timeÀº 90sec·Î °íÁ¤Çϸ硦
½ÇÇè°úÁ¦ > °øÇбâ¼ú   3page   1,200 ¿ø
¹ÙÀÌ¿À³ª³ëÇкΠ³ª³ë °øÇнÇÇè ·¹Æ÷Æ®  CFL Capillary Force Lithography

¹ÙÀÌ¿À³ª³ëÇкΠ³ª³ë °øÇнÇÇè ·¹Æ÷Æ® CFL Capillary Force Lithography

¹ÙÀÌ¿À³ª³ëÇкΠ³ª³ë °øÇнÇÇè ·¹Æ÷Æ® CFL Capillary Force Lithography / ³ª³ë °øÇнÇÇè ·¹Æ÷Æ® Capillary Force Lithography ¹ÙÀÌ¿À³ª³ëÇкΠ1. Introduction -À̹ø ½ÇÇèÀÇ ¸ñÀûÀº °íºÐÀÚÀÇ patternÀ» ¸¸µå´Â °ÍÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ÷ Mask¸¦ ³õ°í Âï¾î³»´Â ¹æ½ÄÀÌ ¾Æ´Ï¶ó °íºÐÀÚÀÇ capillary force¸¦ ÀÌ¿ëÇؼ­ ³ÐÀº ¹üÀ§ÀÇ patternÀ» ³ªÅ¸³¾ °ÍÀÌ´Ù. Capillary force´Â °íºÐ¡¦
½ÇÇè°úÁ¦ > °øÇбâ¼ú   5page   500 ¿ø
÷´Ü±â¼úÁ¤º¸ Á¶º°°úÁ¦ ¹ßÇ¥°èȹ¼­

÷´Ü±â¼úÁ¤º¸ Á¶º°°úÁ¦ ¹ßÇ¥°èȹ¼­

÷´Ü±â¼úÁ¤º¸ÀÎ ½Å °³³ä ³ª³ë±â¼ú Atomic Image Projection Electron-beam LithographyÀ» ºÐ¼®ÇÑ ÀÚ·á·Î ÇѱÛÆÄÀÏ°ú ÆÄ¿öÆ÷ÀÎÆ® ÀڷḦ ÇÔ²² ÷ºÎÇÏ¿´½À´Ï´Ù. AIPEL / ³ª³ë ±â¼úÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â °øÁ¤ ±â¼úÀº Å©°Ô µÎ °¡ÁöÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î ³ª´¶´Ù. ù ¹ø°´Â ±âÁ¸ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀû ±â¼úÀÇ ¿¬Àå¼±»ó¿¡¼­ »ý°¢ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, Áï ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÏ°í, ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÆÐÅÍ´×°ú ¿¡ÄªÀ» ÅëÇÏ¿© ÇÇó¸¦ Á¤ÀÇÇÏ´Â ¹æ¡¦
·¹Æ÷Æ® > °øÇбâ¼ú   16page   2,000 ¿ø
ºÐ¼®È­ÇÐ ±â±âºÐ¼® Microfluidic Channel ½ÇÇè º¸°í¼­ (ÇкΠ¼ö¼®ÀÇ ·¹Æ÷Æ® ½Ã¸®Áî)

ºÐ¼®È­ÇÐ ±â±âºÐ¼® Microfluidic Channel ½ÇÇè º¸°í¼­ (ÇкΠ¼ö¼®ÀÇ ·¹Æ÷Æ® ½Ã¸®Áî)

ÀÚ¿¬°úÇкΠ¼ö¼®ÀÇ ½ÇÇè·¹Æ÷Æ® ½Ã¸®Áî¿¡ ¿À½Å °ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù. ¿©·¯°¡Áö ¼Ò½º¸¦ Ãѵ¿¿øÇÏ¿© ÇØ´ç ½ÇÇè¿¡ ´ëÇÑ ÀÌ·Ð ¹× ¹è°æÁö½ÄÀ» Á¶»çÇÏ°í, ½ÇÇè ¹æ¹ý°ú °á°ú, ÅäÀÇ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ºÎºÐÀº ÃÖ´ëÇÑ Àü¹®Áö½ÄÀ» »ì¸®¸é¼­µµ ¿©·¯ºÐÀÌ ÀÌÇØÇϱâ ÁÁµµ·Ï »ó¼¼ÇÏ°í °¡µ¶¼º ÀÖ°Ô ÀÛ¼ºÇß´Ù°í ÀÚºÎÇÕ´Ï´Ù. ¿©·¯ºÐÀÇ ½ÇÇè°ú º¸°í¼­ ÀÛ¼º¿¡ Å« µµ¿òÀÌ µÇ±æ ¹Ù¶ø´Ï´Ù. / 0. ÃÊ·Ï 1. ¼­ ·Ð 1.1 Soft li¡¦
·¹Æ÷Æ® > ÀÚ¿¬°úÇÐ   11page   1,000 ¿ø
·ç¸Ó¿¡ ´ëÇÑ »çȸ½É¸®ÇÐÀû ºÐ¼®

·ç¸Ó¿¡ ´ëÇÑ »çȸ½É¸®ÇÐÀû ºÐ¼®

·ç¸Ó¿¡ ´ëÇÑ »çȸ½É¸®ÇÐÀû ºÐ¼® / [ ·ç¸Ó¿¡ ´ëÇÑ »çȸ½É¸®ÇÐÀû ºÐ¼® ] 1 A. Paul Weber, `Gerucht`, lithography, 1943 2 01 02 03 ÁÖÁ¦ ¼±Á¤ÀÌÀ¯ ¡®·ç¸ÓÀÇ Á¤ÀÇ »ç·Ê ¼Ò°³ ·ç¸ÓÀÇ ¹ß»ý°ú °­µµ ·ç¸Ó¡¦
·¹Æ÷Æ® > ÀÚ¿¬°úÇÐ   30page   2,000 ¿ø
³ª³ëÀÓ ÇÁ¸°Æ®¸®¼Ò ±×·¡ÇÇ

³ª³ëÀÓ ÇÁ¸°Æ®¸®¼Ò ±×·¡ÇÇ

³ª³ëÀÓ ÇÁ¸°Æ®¸®¼Ò ±×·¡ÇÇ¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ·áÀÔ´Ï´Ù. ³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ®¸®¼Ò±×·¡ÇÇ /  ¸ñÂ÷  °­ ¿¬ ÁÖ Á¦ - ¡®Nanoimprint Lithography¡¯( ³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ® ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ) °­ ¿¬ ¼ø ¼­  ³ª³ë, ³ª³ë Å×Å©³î¸®Áö °³³ä, ³ª³ë ÀÀ¿ë ºÐ¾ß ¼Ò°³  Çѱ¹ ±â°è ¿¬±¸¿ø (KIMM) ¼Ò°³  ³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ® ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ (NIL) ¼Ò°³ →UV - ³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ® ¡¦
·¹Æ÷Æ® > °øÇбâ¼ú   4page   1,000 ¿ø
·¹ÀÌÀúÆÐÅϹ߻ý±â

·¹ÀÌÀúÆÐÅϹ߻ý±â

·¹ÀÌÀúÆÐÅϹ߻ý±â¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ·áÀÔ´Ï´Ù. photoresist¿¡´ëÇÏ¿© / 1. ßí Öå ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ °øÁ¤Àº ºÒ¼ø¹° ÁÖÀÔ, È®»ê, ¸®¼Ò±×¶óÇÇ, ¹Ú¸·Çü¼º, ±Ý¼Ó ¹è¼± Çü¼ºµîÀ¸·Î ³ª´­ ¼ö Àִµ¥ ±×Áß ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤Àº ¸¶½ºÅ©(Mask)»óÀÇ ±âÇÏÇÐÀû ¸ðÇüÀ» ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸é¿¡ µµÆ÷µÇ¾î ÀÖ´Â ¾ãÀº °¨±¤Àç·á(photoresist)¿¡ ¿Å°Ü ³õÀº °ÍÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ÀÌ ¸ðÇüµéÀº´ÙÀ½ ´Ü°èÀÇ ½Ä°¢(echting) °ú¡¦
·¹Æ÷Æ® > °øÇбâ¼ú   7page   1,000 ¿ø
»ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)

»ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)

¡¥ [ ¸ÕÀú ³ª¼­Áö ¾ÊÀ¸¸é ¾ò´Â °ÍÀÌ ¾ø´Ù ] Á¦ÀÛ³â Lithography °øÁ¤À» ½Ç½ÀÇغ¸´Â ¼ö¾÷À» ¼ö°­Çß½À´Ï´Ù. Á÷Á¢ ¹æÁøº¹À» ÀÔ°í Clean Room¿¡ µé¾î°¡¼­ ÁøÇàµÇ´Â ¼ö¾÷À̾ú½À´Ï´Ù. ¼ö¾÷Àº Team project·Î ÁøÇàµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ±×·±µ¥ Á¶ ´ÜÀ§·Î ½Ç½ÀÇϴ Ư¼º»ó, Á¶¸¶´Ù ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼¼ÒÀÚ ÇϳªÀÇ °á°ú¹°°ú º¸°í¼­¸¦ Á¦ÃâÇÏ¸é ³¡À̾ú½À´Ï´Ù. ¸ðµÎ ³ª¼­°í ½ÍÁö ¾Ê¾Æ Çß½À´Ï´Ù. Àú´Â Á÷Á¢ ½Ç½ÀÀ» ÁÖµµ¡¦
ÀÚ±â¼Ò°³ > Àü±âÀüÀÚ   4page   3,000 ¿ø
[LG±×·ì] LG½ÇÆ®·Ð ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­(¹ÝµµÃ¼, 2012³â »ó¹Ý±â)

[LG±×·ì] LG½ÇÆ®·Ð ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­(¹ÝµµÃ¼, 2012³â »ó¹Ý±â)

¾î·Æ°Ô ±¸ÇÑ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ ÀÔ´Ï´Ù. Áö¿øÇϽô Á÷¹« Àß ÂüÁ¶Çϼż­ ²À ¼­·ùÇÕ°Ý ÇÏ½Ã±æ ¹Ù¶ó°Ú½À´Ï´Ù..^^; °¨»çÇÕ´Ï´Ù! / 1. ȸ»ç Áö¿øµ¿±â ¹× Èñ¸ÁÁ÷¹«¸¦ ¼±ÅÃÇÑ ÀÌÀ¯¸¦ ¼­¼úÇϽÿÀ. [2000 byte ÀÌÇÏ]<½ÇÇèÀ¸·Î °øºÎÇÑ ¹°¸®ÇÐ>LG½ÇÆ®·ÐÀÇ °­·ÂÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÑ ÃÊ¿ì·® ÀüÀÚ¼ÒÀç´Â ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú·ÂÀ» °®°Ô ÇÑ ¿øµ¿·ÂÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ±×»Ó¸¸ ¾Æ¡¦
ÀÚ±â¼Ò°³ > Àü±âÀüÀÚ   2page   2,000 ¿ø




ȸ»ç¼Ò°³ | ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ | °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 ¤Ó ±¤ÁÖ±¤¿ª½Ã ±¤»ê±¸ ¹«Áø´ë·Î 326-6, 201È£ | äÈñÁØ | Åë½Å : ±¤»ê0561È£
Copyright¨Ï ¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® All rights reserved | Tel.070-8744-9518
ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ ¤Ó °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 | Tel.070-8744-9518