¢¸
  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (4 ÆäÀÌÁö)
    4


  • º» ¹®¼­ÀÇ
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    4 Pg ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¢º
Ŭ¸¯ : ´õ Å©°Ôº¸±â
  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)   (4 ÆäÀÌÁö)
    4



  • º» ¹®¼­ÀÇ
    (Å« À̹ÌÁö)
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    4 Page ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
´õºíŬ¸¯ : ´Ý±â
X ´Ý±â
µå·¡±× : Á¿ìÀ̵¿

»ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4)

ÀÚ±â¼Ò°³ > Àü±âÀüÀÚ ÀÎ ¼â ¹Ù·Î°¡±âÀúÀå
Áñ°Üã±â
Å°º¸µå¸¦ ´­·¯ÁÖ¼¼¿ä
( Ctrl + D )
¸µÅ©º¹»ç
¸µÅ©ÁÖ¼Ò°¡ º¹»ç µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¿øÇÏ´Â °÷¿¡ ºÙÇô³Ö±â Çϼ¼¿ä
( Ctrl + V )
¿ÜºÎ°øÀ¯
ÆÄÀÏ : »ï¼ºÀüÀÚ °øÁ¤¼³°è ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (4).docx   [Size : 17 Kbyte ]
ºÐ·®   4 Page
°¡°Ý  3,000 ¿ø

Ä«Ä«¿À ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
±¸±Û ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
ÆäÀ̽ººÏ ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â


º»¹®/³»¿ë

1.»ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼­ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ.

Àú´Â Deposition °øÁ¤ ±â¼ú°ú ¼ÒÀç ±â¼úÀÇ °³¹ßÀ» À§ÇØ »ï¼ºÀüÀÚ DS ºÎ¹® »ý»ê ±â¼ú ¿¬±¸¼Ò¿¡ Áö¿øÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀº Ãʹ̼¼ °øÁ¤À» ÅëÇÑ °æÀï»ç ´ëºñ Â÷º°¼º ÀÖ´Â Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê°ú ¿ø°¡ °æÀï·ÂÀÇ Áö¼ÓÀû È®º¸°¡ ÇʼöÀûÀÔ´Ï´Ù. `´õ ÀÛ°Ô`, `´õ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô` ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ °æÀï·ÂÀÌ µÈ Áö±Ý, ±× Á߽ɿ¡´Â ÁõÂø±â¼úÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±âÁ¸ÀÇ PVD ÁõÂø ¹æ½ÄÀº Step coverageÀÇ Á߿伺°ú ÇÔ²² CVD¿¡°Ô ÀÚ¸®¸¦ ³»¾î ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ³·Àº Throughput¿¡µµ, ´õ ¾çÁúÀÇ ¸·À» ÁõÂøÇϱâ À§ÇØ ALD°øÁ¤ÀÌ °³¹ßµÇ¾ú°í ±âÁ¸ CVD °øÁ¤À» ´ëüÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °øÁ¤±â¼úÀÇ ¹ßÀüÀº ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÀÇ ±¸ÇöÀ» À̲ø °ÍÀÔ´Ï´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÁ¡À¯À² ¼¼°è 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇß½À´Ï´Ù. ÀÎÀç¿Í ±â¼úÀÇ Á¶È­¸¦ ÅëÇÏ¿© ²÷ÀÓ¾øÀÌ µµÀüÇÑ °á°úÀÌ¸ç »õ·Î¿î °øÁ¤À» °³¹ßÇÏ°í ¼±µµÇس½ °á°ú¶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. Àú´Â »ï¼ºÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ÀÎÀç°¡ µÇ°Ú½À´Ï´Ù. »ï¼ºÀÇ ¼º°ø DNAÀÎ ÃÖ°í¸¦ ÁöÇâÇÏ´Â Á¤½ÅÀ¸·Î »õ·Î¿î Dep ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿© EUV¸¦ ³Ñ¾î¼­´Â ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇØ ³»°í ¡¦(»ý·«)

2.º»ÀÎÀÇ ¼ºÀå°úÁ¤À» °£·«È÷ ±â¼úÇ쵂 ÇöÀçÀÇ Àڽſ¡°Ô °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç°Ç, Àι° µîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ±â¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (¡ØÀÛÇ°¼Ó °¡»óÀι°µµ °¡´É)



ÀúÀÛ±ÇÁ¤º¸
À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© ȸ»ç´Â º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´Ü ÀüÀ硤¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇħÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã °í°´¼¾ÅÍÀÇ ÀúÀÛ±ÇħÇØ½Å°í ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
ÀÚ·áÁ¤º¸
ID : hajo******
Regist : 2023-03-10
Update : 2023-03-10
FileNo : 23032767

Àå¹Ù±¸´Ï

¿¬°ü°Ë»ö(#)
»ï¼ºÀüÀÚ   °øÁ¤¼³°è   ÇÕ°Ý   ÀÚ±â¼Ò°³¼­  


ȸ»ç¼Ò°³ | ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ | °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 ¤Ó ±¤ÁÖ±¤¿ª½Ã ±¤»ê±¸ ¹«Áø´ë·Î 326-6, 201È£ | äÈñÁØ | Åë½Å : ±¤»ê0561È£
Copyright¨Ï ¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® All rights reserved | Tel.070-8744-9518
ÀÌ¿ë¾à°ü | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ ¤Ó °í°´¼¾ÅÍ ¤Ó olle@olleSoft.co.kr
¿Ã·¹¼ÒÇÁÆ® | »ç¾÷ÀÚ : 408-04-51642 | Tel.070-8744-9518