1. ȸ»ç Áö¿øµ¿±â ¹× Èñ¸ÁÁ÷¹«¸¦ ¼±ÅÃÇÑ ÀÌÀ¯¸¦ ¼¼úÇϽÿÀ. [2000 byte ÀÌÇÏ]<½ÇÇèÀ¸·Î °øºÎÇÑ ¹°¸®ÇÐ>LG½ÇÆ®·ÐÀÇ °·ÂÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÑ ÃÊ¿ì·® ÀüÀÚ¼ÒÀç´Â ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú·ÂÀ» °®°Ô ÇÑ ¿øµ¿·ÂÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ±×»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °í°´À» À§ÇÑ °¡Ä¡Ã¢Á¶¿Í Àΰ£Á¸ÁßÀÇ °æ¿µ¹æħÀº Á¦ ¸¶À½À» »ç·ÎÀâ¾Ò½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ Àú´Â LG½ÇÆ®·Ð waferºÐ¾ß¿¡¼ Process EngineeringÀ» ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. ±× ÀÌÀ¯´Â ´ëÇб³ 3Çгâ OO ½ÇÇè½Ã°£ ¶§ Á¦°¡ Çß´ø °á½É ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ½ÇÇè°úÁ¤Àº 2ÀÎ 1Á¶·Î °¢ÀÚ lithography¸¦ ÅëÇØ wafer¸¦ °¡°øÇÏ°í SputteringÀ» ÅëÇØ °¡°øÇÑ wafer¿¡ ÁõÂøÇÏ´Â ½ÇÇèÀ̾ú½À´Ï´Ù. lithography°úÁ¤¿¡¼ ¾î¶»°Ô Çϸé Á¶±Ý ´õ ±ú²ýÇÑ È¯°æ¿¡¼ °øÁ¤À» ½ÃÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ»Áö, Á¤¹Ðµµ¸¦ ³ôÀ̸鼵µ Àü±âÀû Ư¼ºÀÇ ±ÕÀϼºÀ» À¯ÁöÇϱâ À§ÇÑ ÆÐÅÏÀÌ ¾î¶² °ÍÀÌ ÀÖÀ»Áö °í¹ÎÇÏ¿´½À´Ï´Ù. °í¹Î ³¡¿¡ ³»¸° °á·ÐÀº ¸ÕÁöÁ¦°Å¸¦ À§ÇØ ½ÇÇ躹À» Ç׽à Âø¿ëÇÏ°í ¸ðµç ½ÇÇè°úÁ¤¿¡¼ ºñ´ÒÀå°©°ú ¸¶½ºÅ©¸¦ ³¢°í ½ÇÇèÀ» ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, Á¤¹Ðµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼ö¸¹Àº ½ÃÇàÂø¿À¸¦ °ÅÃƽÀ´Ï´Ù. sputtering °úÁ¤¿¡¼´Â Á» ´õ Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÁõÂøÀ» ½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇؼ °í¹ÎÇÏ°í ¹Ýº¹ÇÏ¿© ½ÇÇèÇß½À´Ï´Ù. ±× °á°ú ÀûÀýÇÑ »ùÇÃȦ´õ¿Í Ÿ°Ù°úÀÇ °Å¸®, ÃÖÀûÀÇ ¿¹¿Å¸À̹ÖÀ» ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ´Ù¸¥ Çлýµé¿¡ ºñÇØ ¿À·£ ½Ã°£°ú ³ë·ÂÀÌ °É¸®±ä ÇßÁö¸¸, °áÄÚ ÈûµéÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù. ÀÌÀ¯´Â ´õ ÁÁÀº °á°ú¸¦ ³Â±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¹ÝµµÃ¼ ¹°¸®ÇÐ ¼ö¾÷¿¡¼ ÀÌÇØÇÒ ¼ö ¾ø´ø ºÎºÐ±îÁö ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾î¼ ³Ê¹« º¸¶÷ÀÌ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ±×¶§ Àú´Â LG½ÇÆ®·Ð waferºÐ¾ß¿¡¼ Process EngineeringÀÌ µÇ±â À§ÇØ ³ë·ÂÇØ¾ß°Ú´Ù°í °á½ÉÇß½À´Ï´Ù. ±×¶§ºÎÅÍ Àú´Â âÀÇ·Â, µµÀüÁ¤½Å, ÀÚ±â ÁÖµµ ´É·ÂÀ» ±â¸£±â À§ÇØ ³ë·ÂÇß½À´Ï´Ù. ¿ì¼± âÀÇ·ÂÀ» ±â¸£±â À§ÇØ ¾ÆÀ̵ð¾î ³ëÆ®¸¦ Àû¾ú½À´Ï´Ù. ¾ðÁ¦ ¾îµð¼µç »õ·Î¿î ¾ÆÀ̵ð¾î°¡ ¶°¿À¸£¸é Àû¾îµÎ´Â °ÍÀ» ½À°üÈÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¿©±â¼ ±×Ä¡Áö ¾Ê°í ±× ¾ÆÀ̵ð¾î¸¦ ½ÇõÇϱâ À§ÇÑ °èȹǥ¸¦ Â¥°í ½ÇÇà¿¡ ¿Å°å½À´Ï´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î µµÀüÁ¤½Å°ú ÀÚ±â ÁÖµµ ´É·ÂÀ» ±â¸£±â À§ÇØ Àü°ø½ÇÇè ¶§¸¶´Ù Á¶ÀåÀ» µµ¸Ã¾Æ¼ »õ·Î¿î ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ µµÀüÇß½À´Ï´Ù. ´Ù¸¥ Á¶¿¡¼ ÇÏÁö ¾Ê´Â µ¶Ã¢¼º ÀÖ´Â ½ÇÇèÀ» ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ´Ù¸¥ Á¶¿¡ ºñÇØ ´õ ¸¹Àº ³ë·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ¾úÁö¸¸ Áñ°Å¿î ¸¶À½À¸·Î ½ÇÇèÇÏ¿´°í ±× °á°ú ½ÇÇè°ú¸ñ¸¸ÅÀº ÃÖ°í ¼ºÀûÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾ú°í ½ÇÇè¿¡ ´ëÇÑ Àڽۨµµ ±â¸£°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.2. ÀÚ½ÅÀÇ °³ÀÎƯ¼º ¹× Àå´ÜÁ¡¿¡ ´ëÇÏ¿© ¼¼úÇϽÿÀ. [2000 byte ÀÌÇÏ]<»õ·Î¿òÀ» ²Þ²Ù´Â µµÀü°¡>Àú´Â ±º»êÀÇ ÀÛÀº ½Ã°ñ ¸¶À»¿¡¼ ž½À´Ï´Ù. ±×°÷¿¡¼ÀÇ ÀÚ¿¬°ú ÇÔ²²ÇÑ ½Ã°£Àº Á¦ Àλý¿¡ °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£ ½Ã±â¿´½À´Ï´Ù. Áý ¾ÕÀ¸·Î ÆîÃÄÁø ¹Ù´Ù´Â »õ·Î¿î ¼¼»ó¿¡ ´ëÇÑ µ¿°æÀ» ÁÖ¾ú°í, µÚ·Î ÆîÃÄÁø »êÀº µµÀüÀ̶ó´Â °¡Ä¡¸¦ Àϱú¿ö ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·± »ýȰȯ°æÀº Àú¿¡°Ô Ç×»ó »õ·Î¿î °Í¿¡ È£±â½ÉÀ» °¡Áö°í µµÀüÇÏ´Â ¼º°ÝÀ» °®°Ô ÇØÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. <¼ÒÅëÀº ÇÐÁ¡À» A+·Î ¸¸µç´Ù>Á¦ ¼º°ÝÀÇ ÀåÁ¡Àº ¼ÒÅë´É·ÂÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ¹°¸®Çеµ·Î¼ ½ÇÇè°ú¸ñ¿¡¼ Oȸ ÀÌ»óÀÇ ÆÀ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÁøÇàÇß°í, ¿©·¯ ´ë¿ÜÈ°µ¿¿¡¼ »ç¶÷µé°ú ÆÀÀ» ÀÌ·ç¸é¼ Ä¿¹Â´ÏÄÉÀ̼ǴɷÂÀ» ¸¹ÀÌ ÇÔ¾çÇß½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÆÀ ÇÁ·ÎÁ§Æ® ÁøÇà½Ã, Àú´Â ²Ä²ÄÇÑ ¼º°Ý ¶§¹®¿¡ ÀÇ»ç°áÁ¤À» Çϴµ¥ ½Ã°£ÀÌ Á» °É·È½À´Ï´Ù. ±×·¡¼ Àú´Â À̸¦ º¸¿ÏÇϱâ À§ÇØ ÆÀ¿øµé°ú Ç×»ó ¼ÒÅëÇÏ·Á ³ë·ÂÇÏ°í ¸®´õ·Î½á °á´Ü·ÂÀ» °®Ãß·Á ³ë·ÂÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ´Â Á¶Á÷ÀÌ ´Ü¼øÈ÷ Àڱ⠿ªÇÒ¸¸ ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ÇÔ²² Á¶È¸¦ ÀÌ·ç¾î Çù¾÷ÇÏ´Â µ¥ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ±× °á°ú ÇÁ·ÎÁ§Æ®°ú¸ñ¿¡¼´Â ¸ðµç ÇÐÁ¡ A+À» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. <µµÀüÇÑ ÀÏ¿¡ ´ëÇÑ °ÇÑ ½ÂºÎ±Ù¼º°ú ±àÁ¤ÀÇ Èû> ¸¹Àº ½ÇÇè ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÁøÇàÇÏ¸é¼ Àß ÁøÇàµÇ´Â °æ¿ìº¸´Ù °èȹ´ë·Î ÁøÇàµÇÁö ¾Ê´Â °æ¿ì°¡ ¸¹¾Ò½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ Àú´Â ±×·²¼ö·Ï ¿ÀÈ÷·Á ´õ Ã¥ÀÓ°¨À» ´À²¼°í ²À Çس»°í¾ß ¸»°Ú´Ù´Â µµÀü Àǽİú ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ±àÁ¤ÀûÀÎ »ý°¢ÀÌ »ý°Ü¼ ¼º°øÇÒ ¶§±îÁö µµÀüÇß½À´Ï´Ù. ±× °á°ú ½ÇÇè°ú¸ñ¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ ¼ºÀûÀ» ¹Þ¾Ò½À´Ï´Ù. <³ª¸¦ º¶û ³¡¿¡ ¼¼¿ì´Ù>³»¼ºÀû
|