[공학,기술] 반도체공학 실험 - Metal Deposition / 실험 4 : Metal Deposition 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Dry etching을 실시한 후 Si기판 위에 금속을 증착시키는 공정인 ‘Metal deposition을 실시하여 기판의 면저항을 측정한다. 증착시키는 금속을 Ni로 증착 두께를 10nm, 20nm, 30nm로 변화를 주어 증착 두께를 조정함에 따라 제품의 면저항에 어떤 영…
[자연과학] 실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비] / 실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비] 1. 실험 목적 진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. 2. 실험 과정 시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐 장갑을 낀다.) 1) 기판 …
화학공학실험 - 진공 상에서의 물질의 증착 / 화학공학실험 - 진공 상에서의 물질의 증착 Ⅰ 실험목표 진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. Ⅱ 실험 이론 ① 압력 단위 환산 1atm 〓 101325Pa 〓 1.01325bar 〓 760mmHg(torr) 〓 14.696 psi ② 증착속도(/s) deposition tickness monitor device 옹스트롬 [angstrom] …
[공학,기술] 반도체공학 실험 - Annealing(Silcidation) / 실험: Annealing(Silcidation) 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Metal deposition’을 실시한 후 실리콘 기판 위에 규소화합물(Silicide)를 구성하기 위하여 내열성 금속과 실리콘을 합금하는 과정을 실시한다. 이 때 RTP를 통해 어닐링을 실시한다. 어닐링 시간을 40초로 고정하고 온도를 600℃, 700℃, 8…
[자연과학]고체생산 실험 - 복합재료의 종류와 제조방법 / 1.복합재료의 종류 1)복합재료의 구분 1. 인위적으로 제조된것(천연에 존재하는 것은 제외) 2. 물리적이건 화학적이건 그 성질이 서로 다른 재료로 구성되어 있는것 3. 구성된 그들을 분리하는 계면이 존재하는 것 4. 각각의 구성성분이 가지는 성질이외의 새로운 다른 특성을 갖는 것 2)복합재료의 조건 1. 기지재(matrix…
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