[공학,기술] 반도체공학 실험 - Annealing(Silcidation) / 실험: Annealing(Silcidation) 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Metal deposition’을 실시한 후 실리콘 기판 위에 규소화합물(Silicide)를 구성하기 위하여 내열성 금속과 실리콘을 합금하는 과정을 실시한다. 이 때 RTP를 통해 어닐링을 실시한다. 어닐링 시간을 40초로 고정하고 온도를 600℃, 700℃, 8…
Taq 중합효소(polymerase)와 Annealing temperature / 1. PCR에 사용되는 Taq polymerase의 특징 2. Annealing temperature가 적정 온도에 비해 고온 또는 저온일 때 해결법 참고문헌 / 1. PCR에 사용되는 Taq polymerase의 특징 Taq polymerase는 PCR(Polymerase Chain Reaction)에서 주로 사용되는 효소로, Thermus aquaticus라는 고온 세균에서 분리된 DNA 중합효소이다. 이 효…
Taq 중합효소(polymerase)와 Annealing temperature / 1. PCR에 사용되는 Taq polymerase의 특징 2. Annealing temperature가 적정 온도에 비해 고온 또는 저온일 때 해결법 참고문헌 / 1. PCR에 사용되는 Taq polymerase의 특징 Taq polymerase는 PCR(중합효소 연쇄 반응)에서 핵심적인 역할을 하는 효소로, Thermus aquaticus라는 고온의 온천에서 발견된 세균에서 유래한다. 이…
[반도체공정실험]Cleaning , Oxidation, Photolithography, Dry etching, Metal Deposition, Annealing(Silcidation) / 1. 실험 목적 2. 실험 방법 3. 실험 결과 4. 토의 사항 II.Photolithography / 1. 실험 목적 2. 실험 이론 및 원리 3. 실험 방법 4. 실험 결과 5. 토의 사항 III.Dry etching
Post annealing effect of BaTiO3-based MIM capacitors for high capacitance 실험 레포트 / 1. 실험날짜 2. 실험주제 3. 예비이론 4. 출처 / 1. 실험날짜 실험 날짜는 2023년 9월 15일이다. 이날은 BaTiO3 기반의 금속-절연체-금속(MIM) 캐패시터의 후처리 효과를 관찰하기 위한 실험이 진행되었다. 아침 일찍부터 실험실에 모인 연구팀은 각자의 역할을 분담하여 체계적으로 실…
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