Post annealing effect of BaTiO3-based MIM capacitors for high capacitance 실험 레포트

1. 실험날짜

실험 날짜는 2023년 9월 15일이다. 이날은 BaTiO3 기반의 금속-절연체-금속(MIM) 캐패시터의 후처리 효과를 관찰하기 위한 실험이 진행되었다. 아침 일찍부터 실험실에 모인 연구팀은 각자의 역할을 분담하여 체계적으로 실험 준비를 시작했다. 먼저, BaTiO3 박막을 성장시키기 위해 필요한 원료를 준비하고, 이는 고순도의 시알콤 및 스트론튬 전구체를 포함한다. 이 전구체들은 샘플의 광학적 및 전기적 특성을 좌우할 중요한 요소이다. 오전 10시에 층상 성장 공정이 시작되었고, 이 과정에서 적절한 온도와 환경을 유지하기 위해 세심한 관찰이 필요했다. 박막의 두께와 균일성을 확보하기 위해 여러 차례의 성장과정을 반복하면서 각 샘플의 상태를 점검했다. 이어서 오후에는 금속 전극을 증착하기 위해 진공 스퍼터링 장비를 이용하였다. 전극의 두께와 종류는 캐패시터의 최종 특성에 큰 영향을 미치므로 주의 깊게 설정하였다. 실험이 끝난 후, 샘플들은 800도의 온도로 앤일링을 진행하였고, 이는 구조적 결함을 제거하고 전기적 특성을 향상시키기 위한 중요한 단계이다. 앤일링 과정에서 생성되는 재료의 상 변화는 캐패시터의 성능에 중요한 영향…(생략)