[화학공학 실험] Sol-Gel법에 의한 SiO2 Gel 제조 / [화학공학 실험] Sol-Gel법에 의한 SiO2 Gel 제조 Contents 1. Abstract 2.Introduction 2. Experimental 2.1 실험 기구 및 시약 2.1.1 실험 기구 2.1.2 실험 시약 2.2 실험 방법 3. Result & Discussion 3.1 Result 3.1.1 Raw data 3.1.2 Result 3.2 Discussion 4.conclussion 5.Reference List of Table Table 1. 물리 …
SOL-GEL법을 이용한 sio2 및 tio제조 결과에 대한 글입니다. SOL-GEL법을이용한SiO2및TiO2제조결과 / ■ 토 의 ● SiO2와 TiO2 제조 실험을 위해 hot plate가 두 개가 필요했는데 둘 다 제 기능을 발휘하지 못해서 실험시간이 많이 지체되었다. 하나는 가열기능이 고장나고 하나는 교반기능이 고장나서 교반기능은 수동으로 컨트롤하였지만 가열기능은 달리 방도가 없어서 다른 조 실험이…
Sol-Gel법에의한SiO₂Gel의제조실험보고서 / 1. 실 험 목 적 2. 실 험 이 론 3. 실험기구 및 시약 4. 실 험 방 법 5. 과 제 6. 참 고 문 헌 / 2. 실 험 이 론 졸-겔 반응(sol-gel reaction)은 지난 수년간 유리와 세라믹 분야에서 상당한 평가를 얻게 된 방법이다. 이 화학적인 과정은 실리콘이나 금속 알콕사이드 단위 전구체(monomer precursor)로부터 다양한 종류의 무기질 망상 조…
실리카(SiO2)의 상전이에 대한 실험보고서입니다. 실리카의상전이 / ● 실험 목적 실리카(Silica)는 지각 성분의 52.12%를 차지하고 세라믹스 원료와 제품의 대부분은 규산염(Slicate)으로 구성되어있으며 무기재료의 주성분이 되는 원료이다. 이러한 실리카(SiO2)의 온도에 따라 동질 다상이상을 나타낸다. 실험을 통하여 가열조건(시간, 온도, 속도)따른 실리카(SiO2)의 상변태 현상을…
화성암의 분류 / 1. 화성암의 정리 2. 색에 따른 분류 3. SiO2함량에 따른 분류 4. 생성 깊이에 따른 분류 5. 쏠레아이트질 마그마와 칼크알칼리질 마그마 / 1. 화성암의 정리 화성암(igneous rock)은 마그마가 굳어 만들어진 암석이다. 마그마는 임의의 암석이 녹아 만들어진 것으로 마그마가 지표로 분출될 때 이를 용암이라고 한다. 화성암은 이렇게 마그마가 굳어 만들어진 암석…
‥가해 실리콘 웨이퍼 표면에 얇고 균일한 실리콘 산화막(SiO)을 형성 시키는 공정이다. 실리콘 산화 막은 실리콘 표면에 원하지 않는 오염을 방지하는 역할 뿐 아니라 반도체 소자에서 매우 우수한 절연체(insulator)로 전류와 도핑물질(dopant)의 이동을 막는데 사용되는 물질로 고품질의 SiO 박막을 성장시키는 산화기술은 반도체 공정에서 매우 중요하다. 2. 이론배경 - 산화막(Oxi…
[공학,기술] 반도체공정 실험 - Dry etching / 실험: Dry etching 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Photolithography 공정을 실시한 후 Si기판을 플라즈마를 이용하여 식각하는 공정인 ‘Dry etching을 실시하며 FE-SEM을 이용하여 SiO2 inspection을 측정한다. 이번 실험에서 전원의 세기를 300와트로 에칭 시간을 3min, 5min, 7min으로 변화를 주어 에칭 시간을 조…
‥ 도핑물질의 이동을 막는데 사용되는 물질로 고품질 의 SiO₂박막을 성장시키는 산화기술은 반도체 공정에서 매우 중요하다. 이론 : 딜-그로브의 열 산화 모델 (Deal-Grove Model of Oxidation) Si기판을 고온(1000℃ 전후)하에서 산소 등의 산화성 가스에 노출시키면,Si표면이 산화되어 SiO2 막이 형성된다. SiO2 막의 질과 두께를 제어하기 위해서는 산화기구를 알아야한다. 산소분자…
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