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(특집) 포토공정 심화 정리9편. Stepper의 설비구조

(특집) 포토공정 심화 정리9편. Stepper의 설비구조
1. Light Source 포토공정에서 스테퍼의 핵심 요소 중 하나는 광원이다. 광원은 칩 제작에 필요한 패턴을 포토레지스트에 전사하는 과정.. / 1. Light Source 2. Shutter / Filter 3. Condenser Lens / Fly`s Eye Lens / Projection Lens / Colimater Lens 4. Wafer stage / 1. Light Source 포토공정에서 스테퍼의 핵심 요소 중 하나는 광원이다. 광원은 칩 제작에 필요한 패턴…
방송통신 > 기타  |  4page  |  3,000 원



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