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| [공학,기술] 반도체공정 실험 - Dry etching / 실험: Dry etching 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 ‘Photolithography 공정을 실시한 후 Si기판을 플라즈마를 이용하여 식각하는 공정인 ‘Dry etching을 실시하며 FE-SEM을 이용하여 SiO2 inspection을 측정한다. 이번 실험에서 전원의 세기를 300와트로 에칭 시간을 3min, 5min, 7min으로 변화를 주어 에칭 시간을 조… |
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| ‥소 등의 산화성 가스에 노출시키면,Si표면이 산화되어 SiO2 막이 형성된다. SiO2 막의 질과 두께를 제어하기 위해서는 산화기구를 알아야한다. 산소분자(O2)등의 산화 종이 우선 SiO2막 표면에 흡착한 후, SiO2막 중을확산에의해 통과하여 Si 와 SiO2의 계면에 도달하면 그곳에서 Si와반응(산화)하여 SiO2 가 형성된다. 다시 말해 SiO2 내에서의 실리콘 확산도는 O2 의 확산도보다 매우… |
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| ‥9. 23 4. 실험이론 silica (SiO2) : 이산화규소, 규산 무수물이라고도 한다. 회색, 무취의 분말로 투명하지만 물에는 이온 상태, 콜로이드 상태로 함유되어 있다. 접촉 시 피부와 눈에 자극적이다. 흡입하면 호흡기에 자극을 유발할 수 있다. (참고 : 무정형 실리카는 SiO2의 비결정성 형태이다.) TEOS(Tetraethyl orthosilicate, C8H20O4Si) : 에틸규산염은 희미한 냄새가 나는 … |
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| ‥리보로실리카유리용융 실리카 유리조성(주성분)이산화규소(SiO2) 산화나트륨(Na2O) 산화칼슘(CaO)이산화규소(SiO2) B2O3이산화규소(SiO2)연화점낮다(600도)높다(800도)매우 높다(1200도)가열또는 냉각시 실리카와 비교한 팽창높다 (실리카의 14배)낮다 (실리카의 3배)매우 낮다화학 물질에 대한 내구성낮다높다매우 높다용도용기, 창유리가열용그릇 실험용 유리 기구특수실험용 유리 기… |
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| ‥리카유리 용융실리카유리 조성(주성분) 이산화규소(SiO2) SiO2, B2O3(산화붕소) SiO2 산화나트륨(Na2O) 산화칼슘(CaO) 연화점 낮다(600℃) 높다(800℃) 매우높다(1200℃) 가열, 냉각시 실리카와 비교한 팽창 높다 (실리카의 14배) 낮다 (실리카의 5배) 매우낮다 화학물질에 대한 내구성 낮다 높다 매우 높다 용도 용기, 창유리 가열용 그릇, 실험용유리기구 특수실험용 |
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| ‥ 같지만 실제로는 더 자유롭게 다룰 수 있다. 실리카(SiO2)가 주성분인 유리는 완전한 결정형 고체가 아니고 녹는점도 확실하지 않기 때문에 액체-과냉각액체-유리 사이에서 모든 성질이 온도 변화에 따라 원활하게 연속적으로 변하는데 있다. 물질의 점성을 측정하는 점성계수 (단위 : 푸아즈, 기호 : P) 가 녹는 온도에서 100P 정도 이던 것이 상온에서는 10P까지 극단적으로 변하기… |
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| [자연과학] [무기화학실험] Sol-Gel Silica Preparation(솔겔 실리카 합성) / [무기화학실험] Sol-Gel Silica Preparation(솔겔 실리카 합성) 1. 실험목적 Sol-Gel법을 이용하여 구형의 SiO2를 제조할 수 있다. 2. 실험이론 ①졸[Sol ; 소액성 콜로이드] 액체 중에 콜로이드입자가 분산하고 유동성을 가지고 있는 계(系). 특히 분산매(分散媒)가 물이면 하이드로졸, 유기물이면 오르가노… |
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| 화학실험 보고서 - 실리카겔의 제조와 특성(예비, 결과 리포트) / 실습과제명 : 실리카겔의 제조와 특성 1. 서론 실리카겔의 특성을 파악하고 실제로 제조해본다. 2. 수행 목표 물유리를 산 분해함으로써 흡착제 / 건조제로 사용되는 실리카겔을 물유리로부터 제조하여 겔 상의 수화성 산화물의 취급 / 합성법을 습득하여 본다. 3. 세부 목표 이 때 산의 종류, 농도의 영향을 받은 겔화… |
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| ‥소-규소 결합이 아주 불안정하기 때문에 산화물 실리콘(SiO2)으로 모래, 암석, 광물 등의 형태로 존재한다. 이들은 지각의 1/3정도를 구성하고 있어 지구상에서 매우 풍부하게 존재하고 있으며, 따라서 반도체 산업에 매우 저가의 가격으로 안정적으로 공급될 수 있는 재료이다. 또한 물질에 독성이 전혀 없어 환경적으로 매우 우수한 재료이기도 하다. 실리콘이 반도체 재료로 널리 사… |
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