1. ½ÇÇè ¸ñÇ¥
½ÇÇè ¸ñÇ¥´Â ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ ÇÕ¼º°ú Ư¼º ºÐ¼®À» ÅëÇØ ÀüÀÚ ±â±â ¹× Àü±âÀû Ư¼ºÀ» ÀÌÇØÇÏ°í ÃÖÀûÈÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. Çö´ë ÀüÀÚ »ê¾÷¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á´Â ÇʼöÀûÀÎ ±¸¼º ¿ä¼Ò·Î ³Î¸® »ç¿ëµÇ¸ç, ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ±íÀÌ ÀÖ´Â ÀÌÇØ´Â ´õ ³ªÀº ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â µ¥ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. º» ½ÇÇè¿¡¼´Â ´Ù¾çÇÑ À¯ÇüÀÇ ¹ÝµµÃ¼, ƯÈ÷ nÇü°ú pÇü ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÁغñÇÏ°í, À̵éÀÇ Àü±âÀû Ư¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ¿© °¢±â ´Ù¸¥ ÇÕ¼º ¹æ¹ýÀÇ È¿°ú¸¦ ºñ±³ ºÐ¼®ÇÏ´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¸ñÇ¥´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âÃÊ ¿ø¸®¿Í Àç·á °úÇÐÀÇ ÀÌÇظ¦ µ½°í, ½ÇÁ¦ ÀÀ¿ë¿¡¼ÀÇ ¼º´É ÃÖÀûȸ¦ À§ÇÑ ±âÃÊ Áö½ÄÀ» Á¦°øÇÏ´Â µ¥ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃá´Ù. ½ÇÇè °úÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ´Ù¾çÇÑ ÇÕ¼º ¹æ¹ý, ¿¹¸¦ µé¾î ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(CVD), ¹°¸®Àû ÁõÂø, ¼Ö-Á© °øÁ¤ µî¿¡ ´ëÇÑ ÀÌ·ÐÀû ¹è°æÀ» ÀÌÇØÇÏ°í À̸¦ ½ÇÇàÇÔÀ¸·Î½á °¢ ¹æ¹ýÀÇ Àå´ÜÁ¡À» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ¶ÇÇÑ, ½ÇÇè °á°ú·ÎºÎÅÍ ¾òÀº µ¥ÀÌÅÍ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ Àü±âÀû, ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀ» Æò°¡ÇÏ°í, À̸¦ ÅëÇØ Æ¯Á¤ Á¶°Ç¿¡¼ÀÇ ÃÖÀûÈµÈ ¼º´ÉÀ» µµÃâÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¸ñÇ¥ ´Þ¼ºÀ» ÅëÇØ ½ÇÇèÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ ¹°¸®Àû, ÈÇÐÀû Ư¼ºÀ» °æÇèÀûÀ¸·Î ¹è¿ì°í, ÁÖ¾îÁø Á¶°Ç¡¦(»ý·«)
|