Scanning Electron Microscope(SEM) 결과보고서

1. 이론적 배경

Scanning Electron Microscope(SEM)는 고진공 환경에서 전자빔을 샘플에 조사하고, 이로 인해 발생하는 전자들을 탐지하여 고해상도의 이미지를 생성하는 현미경이다. SEM의 기본 원리는 전자빔이 샘플의 표면에 전달되고, 이 과정에서 샘플의 원자와 상호작용하면서 여러 종류의 방출 전자를 발생시킨다는 것이다. 이 방출 전자들은 주로 다음과 같은 종류로 나눌 수 있다. 즉, 2차 전자, 반사 전자, 특성 X선 등이 있다고 할 수 있다. SEM의 주요 구성 요소는 전자총, 전자렌즈, 진공 챔버, 탐지기와 스크린 또는 이미지 처리 시스템 등으로 이루어진다. 전자총은 전자를 방출하여 가속시키는 역할을 하며, 종종 필라멘트 방식이나 튜브 방식으로 구성된다. 전자가 방출되면, 이를 가속하기 위해 높은 전압이 인가되며, 전자렌즈는 이 전자빔을 조절하여 특정 위치에 집중시키고 이미지를 형성하는 기능을 수행한다. 이러한 전자빔은 샘플에 조사되기 전에 여러 개의 렌즈를 통과하게 되며, 이때 전자의 경로를 조절하여 원하는 초점에서 이미지를 얻을 수 있다. SEM에서 사용되는 고진공 환경은 전자빔의 산란을 최소화하고, 전자들이 샘플에 도달할 때 …(생략)