1. TFT °øÁ¤ Process
TFT °øÁ¤Àº ¾×Á¤ µð½ºÇ÷¹ÀÌ(LCD) Á¦Á¶ÀÇ ÇÙ½É ´Ü°è·Î, Thin Film Transistor ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ °øÁ¤ÀÌ´Ù. TFT´Â ÀüÀÚ ÀåÄ¡¿¡¼ ±âº»ÀûÀ¸·Î Àü·ù¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ½ºÀ§Ä¡ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇϸç, ÀÌ·¯ÇÑ Æ®·£Áö½ºÅÍ°¡ ¹è¿µÇ¾î Çȼ¿À» Çü¼ºÇÏ°Ô µÈ´Ù. TFT °øÁ¤Àº ¿©·¯ °¡Áö º¹ÀâÇÑ ´Ü°è¸¦ Æ÷ÇÔÇϸç, °¢ ´Ü°è¿¡¼ °íµµÀÇ Á¤¹Ðµµ°¡ ¿ä±¸µÈ´Ù. ù ¹ø° ´Ü°è´Â ±âÆÇ ÁغñÀÌ´Ù. TFT °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ±âÆÇÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î À¯¸® ȤÀº Çöó½ºÆ½ ¼ÒÀç·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ ±âÆÇ À§¿¡ ´Ù¾çÇÑ ¹Ú¸· ÄÚÆÃÀÌ ÁøÇàµÈ´Ù. ±âÆÇÀº ¼¼Ã´ °úÁ¤À» ÅëÇØ ¸ÕÁö¿Í ºÒ¼ø¹°ÀÌ Á¦°ÅµÇ¸ç, À̸¦ ÅëÇØ º¸´Ù ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ Àü±âÀû Ư¼ºÀÌ À¯ÁöµÈ´Ù. ±âÆÇ Áغñ°¡ ¿Ï·áµÇ¸é, ´ÙÀ½ ´Ü°è·Î À̵¿ÇÏ°Ô µÈ´Ù. µÎ ¹ø° ´Ü°è´Â ¹Ú¸· ÁõÂøÀÌ´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼´Â TFTÀÇ È°¼ºÃþÀÌ Çü¼ºµÇµµ·Ï »êȹ° ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀ» ±âÆÇ À§¿¡ ÁõÂøÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â Àç·á´Â Àεã ÁÖ¼® »êȹ°(ITO) ¶Ç´Â ¾Æ¸ôÆÛ½º ½Ç¸®ÄÜ(a-Si)ÀÌ´Ù. À̵éÀº ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼µµ Àß ÁõÂøµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÀüÀÚ À̵¿µµ°¡ ÁÁ±â ¶§¹®¿¡ TFTÀÇ ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Â µ¥ ±â¿©ÇÑ´Ù. ¹Ú¸· ÁõÂøÀº ¹°¸®Àû ÁõÂø(Physical Vapor Deposition, PVD) ¶Ç´Â ÈÇÐÀû¡¦(»ý·«)
|