산화실험

● 측정의 어려움
다른 측정기술에 비해 너무다 많은 곳에 응용을 하다보니 그 신뢰도가 응용분야나 사용자의 숙달정도에 따라 매우 다르다(그림참조). 즉, 적절한 성능을 가진 ellipsometer를 이용하여 표준화된 측정과정을 통해 표면이 매끈하고 특정범위의 광학적 성질을 가진 bulk 물질을 측정하여 얻는 그 물질의 n(굴절률)과 k(소광계수) 값이 초보 사용자가 발휘할 수 있는 최고의 신뢰도를 가진 물리량이다.
Ellipsometry와 다른 분석장비의 특징을 나타내는 그림으로 폭 A는 다른 장비에 비해 비교적 응용범위가 넓음을 나타내고 있고 간격 B는 신뢰도가 낮은 응용분야에서 사용자의 숙달된 정도에 따른 차를 나타내고 있다 (실선: 일반 사용자, 점선: 숙련된 사용자).결론적으로 말하자면, 반사(또는 투과)만 할 수 있으면 어떤 시편이든지 ellipsometry 각 (Δ, Ψ)의 측정이 가능하다.첫 번째 문제는 번듯한 측정값이 나왔음에도 불구하고 피할 수 없는 큰 실험 오차가 포함되어 있는
경우가 많고두 번째 문제는 이론적 분석이, 복잡한 시편과 복잡한 측정환경이 될 수록 점차 어려워진다는 것이다. 따라서 다른 장비의 경우처럼 몇 개월의 …(생략)