TCO(Transparent Conducting Oxide)
¸ñ Â÷
TCO¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
TCOÀÇ Á¾·ù
TCO ÀÀ¿ëºÐ¾ß
CIGS žçÀüÁö¿ë TCO
CIGS žçÀüÁöÀÇ ±âº» ±¸Á¶
TCOÀÇ Àü±âÀû,±¤ÇÐÀû Ư¼º
TCO Àç·áÀÇ Á¾·ù ¹× °¢°¢ÀÇ Æ¯Â¡
TCO¶õ ¹«¾ùÀΰ¡
ºûÀÇ Åõ°ú¼ºÀÌ ³ôÀ¸¸é¼ Àü±â°¡ ÅëÇÏ´Â ¼ºÁúÀ» °¡Áö´Â ¾ãÀº ¹Ú¸·
°¡½Ã±¤¼± ¿µ¿ªÀÇ ºûÀ» Åõ°ú½ÃÄÑ »ç¶÷ÀÇ ´«¿¡ Åõ¸íÇÏ°Ô º¸ÀÌ´Â µ¿½Ã¿¡ Àü±âÀüµµµµ°¡ ÁÁÀº ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ» ³ªÅ¸³»´Â Àç·á
TCO Á¾·ù
±¸ ºÐ
±Ý¼Ó ¹Ú¸·
»êȹ° ¹Ú¸·
Ư ¡
¾ÈÁ¤ÇÏÁö ¸øÇÏ°í
½Ã°£¿¡ µû¶ó º¯ÇÔ
¾ÈÁ¤¼º°ú ³»¸¶¸ð
¼ºÀÌ ¿ì¼ö
Á¾ ·ù
Au, Ag, Cu, Re,
Al, Fe, Ni µî.
In2O3, ZnO, SnO2 µî.
TCO ÀÀ¿ëºÐ¾ß(1)
TCO ÀÀ¿ëºÐ¾ß(2)
Touch panel
LCD
PDP
CIGS žçÀüÁö¿ë TCO`CIGS žçÀüÁöÀÇ ±âº» ±¸Á¶`
¹Ý»ç¹æÁö¸·
TCO:In2O3,ZnO,SnO2
CdS,ZnS
Èí¼öÃþ:Cu(In,Ga)Se2
¹è¸éÀü±Ø : Mo
glass
TCOÀÇ Àü±âÀû, ±¤ÇÐÀû Ư¼º(1)
Àü±â Àüµµµµ(`103~5 [¥Øcm]1)
¥ò = e ¥ì N [¥Øcm]1
e : Àü±âÀüÇÏ,»ó¼ö
¥ì : charge carrier mobility(ÀüÇÏÀ̵¿µµ)
N : charge carrier concentration(ÀüÇϳóµµ)
¸éÀúÇ× (` 10-¡¦(»ý·«)
|
¸· ÄÚÆÃ
ZnO ÀÇ Æ¯¼º
žçÀüÁö¿ë TCO·Î »ç¿ëµÊ.
ºÐÇØ¿¡³ÊÁö = 700KJ/mol.
- PACVD¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ºñÁ¤Áú SiÄÚÆà ½Ã Àüµµµµ ¹× Åõ°úÀ²
ÀúÇÏÇö»óÀÌ ¾øÀ½.
Àüµµµµ Çâ»óÀ» À§ÇØ Al µµÇÎ.
Extinction coefficient°¡ ³·¾Æ µ¿ÀÏ µÎ²²¿¡¼ ´õ ³ôÀº °¡½Ã±¤¼± Åõ°úÀ²À» °®À½.
¹êµå°¸ÀÌ ³·¾Æ Àڿܼ± Åõ°úÀ²ÀÌ ³·À½.
³»½À¼ºÀÌ ¾àÇÑ ´ÜÁ¡ º¸À¯.
Thank you
Au,Ag,Cu,Pt,Re, Al,Fe,Ni
Asdf