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`재료공학기초실험보고서`
- 광학현미경 조직검사 실험
◎이론적 배경
- Etching : 화학약품을 사용하여 금속, 세라믹스, 반도체 등의 표면을 부식시키는 것. 부식 이라고도 한다. 표면 연마와 반도체의 정밀가공, 인쇄제판 공정 등에서 재료를 패턴상으로 부식시키기 위해서 한다. 최근 반도체 공업에서는 에칭액을 사용하 지 않는 드라이 에칭이 많이 사용되고 있다.
- 광학 현미경 : 표본에 빛을 비추어 그 표본을 통과한 빛이 대물렌즈에 의해 확대된 실상 을 맺고, 이것을 접안렌즈를 통해 재 확대된 상을 관찰할 수 있도록 고안 된 장치를 말한다.
◎실험결과
- 만든 시편을 에칭을 하여 광학현미경으로 관찰하였다.
시편의 종류는 다음과 같다.
Sample ; 적절한 에칭 이후 산화가
일어나기 전 시편을 관찰했을 때.
무에칭 ; 에칭을 하지 않고 시편을 관찰했을 때.
적절한 에칭 ; 에칭을 하고 시편을
관찰 했지만 철의 산화가
조금 발견된 시편.
과에칭 ; 에칭을 과하게 하여 시편을 관…(생략)
1) sample 시편에서는 깨끗하고 깔끔하게 grain과 grain boundary를 관찰 할 수 있다.
2) 에칭을 하지 않고 관찰한 시편에서는 아무것도 볼 수 없었다.
1. 본 실험에서 관찰한 미세구조를 바탕으로 저탄소강의 미세조직에 대해 설명하시오.
2. 에칭을 하는 이유
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접는
방법을 반복해 단단한 칼을 만든다 하신 것 인데 여기서 열을 가해 녹여 접는 방법을 반 복하는 행위가 grain과 grain boundary를 만드는 행위라 생각한다.
- 실험을 해보니 에칭을 하여야 현미경으로 관찰 할 수 있는데 첫 시간에 조교님이 에칭의
종류에도 여러 종류가 있다고 하였다.
그 부분에 대해 살펴보면 1)Wet Etching 2) Dry Etching 에 대해 공부해 보았다.
Wet Etching은 화학적 약품을 이용해 부식을 행하는 것을 말한다. 화학적 약품내에 포함 된 성분이 부식 시키려는 물질과 화학 반응을 일으켜 부식하고자 하는 성분이 약품 용액
중에 녹아 내린다. ex) 희석한 불산(HF)을 이용한 에칭
Dry Etching은 화학적 약품 대신 가스를 사용하여 플라즈마 상태에서 물리적 반응을 일
으켜 부식 시키는 것을 말한다. ex) 이온을 이용
◎참고문헌
- 에칭
http://terms.naver.com/entry.nhncid=2916&docId=1583916&mobile&categoryId=2916 (네이버 지식 백과)
http://me.cau.ac.kr/~microsys/kor/mari_board/data/data/(5)%20Etching(10)STD.pdf
- 광학현미경
http://terms.naver.com/entry.nhncid=200000000&docId=1065194&mobile&categoryId=200000457 (네이버 지식백과)
- 재료공학개론 : 4장 참조
재료공학 기초실험 - 광학현미경 조직검사 실험.hwp
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