¹«±âÈÇнÇÇè - XPS(ESCA)ÀÇ ¿ø¸®¿Í Ư¼º, XPS ÀåÄ¡¿¡ ´ëÇؼ
XPS(X-ray photoelectron spectrometer)
ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)
ÃÊ°íÁø°ø Áß¿¡ À§Ä¡ÇÑ °íü Ç¥¸é¿¡ Ư¼º X-ray¸¦ Á¶»çÇÏ¿© ½Ã·á ³»¿¡ ÀüÀÚ¸¦ ¹ÛÀ¸·Î Æ¢¾î³ª¿À°Ô ÇÏ¿© ±× ÀüÀÚÀÇ ¿îµ¿¿¡³ÊÁö¿Í °µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °Í¿¡ ÀÇÇØ ¹°Áú ³»¿¡ ÀÖ´Â °íÀ¯ÀÇ ÀüÀÚ °áÇÕ¿¡³ÊÁö, ÀüÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö ÁØÀ§¿Í ¾çÀ» ¾Æ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
1. ¿ø¸®¿Í Ư¼º
XPS´Â ÀÌ ±â¼úÀ» °³¹ßÇÑ ½º¿þµ§ Uppsala ´ëÇб³ÀÇ Siegbahn¿¡ ÀÇÇØ ºÙ¿©Áø ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)¶ó´Â º°¸íÀ¸·Î ÈçÈ÷ ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç ±× ¿ø¸®´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
ESCA´Â ÀüÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Ç¥¸éºÐ¼® ¹æ¹ýÀ¸·Î Ç¥¸éÀÇ ¿ø¼Ò ±¸¼ººñ(elemental composition)¿Í °¢ ¿ø¼ÒÀÇ ÈÇаáÇÕ»óÅÂ(chemical state)±îÁö ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö ÀÖ´Ù.¸ðµç ¿ø¼ÒµéÀÇ ÀüÀÚ´Â K°¢, L°¢µî °¢(Shell)±¸Á¶¸¦ ÀÌ·ç°í ÀÖÀ¸¸ç, ±× ³»°¢ ÀüÀÚµéÀº °¢±â µ¶Æ¯ÇÑ ¿¡³ÊÁöÁØÀ§(Binding Energy)¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î »ê¼ÒÀÇ 1s ÀüÀÚ´Â °áÇÕ¿¡³ÊÁö°¡ 531eVÀÌ°í ź¼ÒÀÇ 1s ÀüÀÚÀÇ °áÇÕ¿¡³ÊÁö´Â 284eV, ½Ç¸®ÄÜ ¿øÀÚÀÇ 2pÀüÀÚ´Â 99eVÀÇ °á¡¦(»ý·«)
1)Ek ¡ë hv - Eb - ¬¶
2)L-S coupling
|