1. Introduction
PVD(Physical Vapor Deposition)´Â ¹°ÁúÀÇ ÁõÂø ¹æ¹ý Áß Çϳª·Î, °íü ¹°ÁúÀ» ±âü »óÅ·Πº¯È¯ÇÑ ÈÄ À̸¦ ´Ù½Ã °íü ÇüÅ·Πº¯È¯ÇÏ¿© Ç¥¸é¿¡ ÀûÃþÇÏ´Â °úÁ¤À» ÀǹÌÇÑ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼, ±Ý¼Ó, ¼¼¶ó¹Í µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ È°¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ÀüÀÚ±â±â ¹× ÀåºñÀÇ ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°í ³»±¸¼ºÀ» ³ôÀÌ´Â µ¥ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. PVD °øÁ¤Àº Áø°ø »óÅ¿¡¼ ÀÌ·ç¾îÁö¸ç, ÀÌ·Î ÀÎÇØ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ¾ø´Â ±ú²ýÇÑ È¯°æ¿¡¼ °íÇ°ÁúÀÇ ¹Ú¸·À» »ý¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. PVDÀÇ ÁÖ¿ä °øÁ¤¿¡´Â Áõ¹ß, ½ºÆÛÅ͸µ, ±×¸®°í ÈÇÐÀû ±â»ó ÁõÂø µîÀÌ Æ÷ÇԵȴÙ. ÀÌ·¯ÇÑ °¢°¢ÀÇ ¹æ¹ýµéÀº ƯÁ¤ÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿Í ¿ä±¸µÇ´Â Ư¼º¿¡ µû¶ó ¼±ÅÃµÇ¾î »ç¿ëµÈ´Ù. PVD ±â¼úÀº °íµµ·Î Á¤¹ÐÇÑ µÎ²² Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÏ°í, ´Ù¾çÇÑ Àç·á¸¦ ÄÚÆÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ, PVD °øÁ¤¿¡¼ »ý¼ºµÈ ÄÚÆÃÀº ³ôÀº °æµµ¿Í ³»½Ä¼ºÀ» °¡Áö¸ç, ±â°èÀû, Àü±âÀû Ư¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª±â ¶§¹®¿¡ Çö´ëÀÇ ±â¼úÀû ¿ä±¸¿¡ ºÎÇÕÇÑ´Ù. ƯÈ÷, ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼´Â PVD°¡ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ÀÌ ±â¼úÀ» ÅëÇØ Á¦Á¶µÇ´Â ¹Ú¸·Àº Æ®·£Áö½ºÅÍ, žçÀüÁö, ±×¸®°í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀåÄ¡¿¡ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. PVDÀÇ Àû¿ë ¹üÀ§°¡ ³Ð¾îÁü¿¡ µû¶ó, ´õ¿í ³ôÀº ¼º´É¡¦(»ý·«)
|