PVD 증착법 예비 보고서 [A＋ 레포트]

1. Rotary pump

Rotary pump는 진공을 생성하는 데 널리 사용되는 장비로, 다양한 산업과 연구 분야에서 필수적인 역할을 한다. 이러한 펌프는 주로 두 개의 회전하는 로터를 이용하여 공기를 제거하여 진공 상태를 만들어낸다. 기본 원리는 회전운동을 통해 공간 또는 챔버 내의 공기를 밀어내고, 이를 통해 진공을 형성하는 것이다. 이 과정에서 로터가 회전할 때 발생하는 힘에 의해 공기가 압축되고 배출되며, 이로 인해 공간 내 압력이 낮아진다. Rotary pump의 설계는 상당히 간단하면서도 효과적이다. 일반적으로 두 개의 로터가 서로 맞물려 회전하는 구조를 가지고 있으며, 이들 로터는 서로 가까운 간격으로 배치되어 있다. 이로 인해 공기가 로터 사이를 통과할 때 유체의 흐름이 원활히 이루어지며, 압력이 낮은 영역으로 이동하게 된다. 이 과정에서 로터가 회전함에 따라 공기가 실린더의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝으로 이동하게 되는데, 이는 일정한 압력 차가 생성되도록 설계되어 있다. 이렇게 생성된 진공 상태는 다양한 응용 분야에서 필요한 조건을 충족시킨다. Rotary pump의 주요 장점 중 하나는 높은 신뢰성과 지속적인 성능 유지이다. 일반적으로 유…(생략)