1. ¼·Ð
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¼³°è´Â Çö´ë ÀüÀÚ»ê¾÷ÀÇ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ä¼Ò·Î, È¿°úÀûÀÌ°í È¿À²ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇϱâ À§ÇÑ °úÁ¤ÀÌ´Ù. ƯÈ÷, NMOS Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â µðÁöÅРȸ·Î¿¡¼ ³Î¸® »ç¿ëµÇ´Â ±âº» ±¸¼º ¿ä¼Ò·Î¼, ±× ¼º´ÉÀº ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. NMOS Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¼³°è ¹× ÃÖÀûÈ´Â ¼ÒÀÚÀÇ Àü±âÀû Ư¼º, ½ºÀ§Äª ¼Óµµ, Àü·Â ¼Òºñ, ¿Àû ¾ÈÁ¤¼º µî ´Ù¾çÇÑ ¿ä¼Ò¸¦ °í·ÁÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¼³°è¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â Silvaco TCAD(Technology Computer-Aided Design) ÅøÀº ÀÌ·¯ÇÑ NMOS Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼³°è¿Í ÃÖÀûȸ¦ À§ÇÑ °·ÂÇÑ µµ±¸·Î ³Î¸® È°¿ëµÈ´Ù. TCAD´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¹°¸®Àû ¹× Àü±âÀû °Åµ¿À» ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇÏ¿©, °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ Á¶Á¤ÇÏ°í °á°ú¸¦ ¿¹ÃøÇÔÀ¸·Î½á ¼³°èÀÚ¿¡°Ô À¯¿ëÇÑ ÀλçÀÌÆ®¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. ƯÈ÷, Silvaco TCAD´Â ¼ÒÀÚÀÇ ±¸Á¶, µµÇÎ ³óµµ, ä³Î ±æÀÌ, »êȸ· µÎ²² µî ´Ù¾çÇÑ ¼³°è º¯¼ö¸¦ ÅëÇØ NMOS ¼º´ÉÀ» ÃÖÀûÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ» °®Ãß°í ÀÖ´Ù. NMOS Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¼³°è¿¡ ÀÖ¾î °¡Àå ¸ÕÀú °í·ÁÇØ¾ß ÇÒ ¿ä¼Ò Áß Çϳª´Â ä³Î ±æÀÌ¿Í µµÇÎ ÇÁ·ÎÆÄÀÏÀÌ´Ù. ä³Î ±æÀÌ´Â ¼ÒÀÚÀÇ ½ºÀ§Äª ¼Óµµ¿Í µå·¹ÀÎ Àü·ù¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡¸ç, ´õ ªÀº ä³Î ±æÀÌ´Â ³ô¡¦(»ý·«)
|