1. Thermal Oxidation
Thermal oxidationÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ Áß¿äÇÑ °úÁ¤ÀÌ´Ù. ÀÌ °úÁ¤Àº ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ »êÈ ½Ç¸®ÄÜ(SiO©ü) ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµÈ´Ù. ¿ »êÈ´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ °í¿Â ȯ°æ¿¡¼ »ê¼Ò³ª ¼öÁõ±â¿Í ÇÔ²² ³ëÃâ½ÃÄÑ ½Ç¸®ÄÜ°ú »ê¼Ò°¡ ¹ÝÀÀÇÏ¿© SiO©ü¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â ±â¹ýÀÌ´Ù. ÀÌ °úÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Àü±âÀû Ư¼º¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡¸ç, ÀüÀÚ±â±â¿¡¼ Àý¿¬ÃþÀ» Á¦°øÇÏ°í, ¸®Æ¬ÃþÀ̳ª ÆÐÅÍ´× °úÁ¤ µî¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¸¶½ºÅ© ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ¿ »êÈ´Â ÁÖ·Î µÎ °¡Áö ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø´Ù. ù ¹ø°´Â °Ç½Ä »êÈ(dry oxidation)·Î, ¼ø¼öÇÑ »ê¼Ò °¡½º¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ³ôÀº ¿Âµµ¿¡¼ »êÈ ¹ÝÀÀÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù. µÎ ¹ø°´Â ½À½Ä »êÈ(wet oxidation)·Î, ¼öÁõ±â¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© »êÈ °úÁ¤À» °¡¼ÓȽÃŲ´Ù. ½À½Ä »êÈ´Â °Ç½Ä »êÈ¿¡ ºñÇØ ´õ ºü¸¥ ¼Óµµ·Î µÎ²¨¿î »êȸ·À» Çü¼ºÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ´ë·® »ý»ê °úÁ¤¿¡¼ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. Áï, »êȸ·ÀÇ µÎ²²¿Í Ư¼ºÀº »êÈ Á¶°Ç¿¡ µû¶ó Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ·Î ÀÎÇØ ´Ù¾çÇÑ ¿ëµµ·Î ¸ÂÃãÇü »êȸ·À» »ý¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿ »êÈÀÇ ÁÖ¿ä °úÁ¤À» ÀÌÇØÇϱâ À§Çؼ´Â ¿Âµµ¿Í ½Ã°£ÀÇ Á¦¾î°¡ Áß¿äÇÏ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î »êȸ·ÀÇ µÎ²²´Â »êÈ ½Ã°£°ú ¡¦(»ý·«)
|