1. Sputtering ±â¹ýÀÇ ÀåÁ¡
½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering) ±â¹ýÀº Àç·á ÁõÂø ±â¼ú Áß Çϳª·Î, ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ ³Î¸® »ç¿ëµÈ´Ù. ÀÌ ±â¹ýÀº °íü Ç¥¸é¿¡¼ ¿øÀÚ°¡ ¶³¾îÁ® ³ª¿À´Â Çö»óÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¾ãÀº Çʸ§À» Á¦Á¶Çϴµ¥, ¿©·¯ °¡Áö ÀåÁ¡ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. ù°·Î, ½ºÆÛÅ͸µÀº ¾ÆÁÖ Á¤¹ÐÇÑ µÎ²² Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¸é ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§·Î ÁõÂø µÎ²²¸¦ Á¶ÀýÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡, ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ¿ä±¸µÇ´Â ƯÁ¤ µÎ²²ÀÇ Çʸ§À» Á¤È®ÇÏ°Ô Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× ±¤ÇÐ ÄÚÆðú °°ÀÌ µÎ²²¿¡ ¹Î°¨ÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ÀåÁ¡ÀÌ Å©´Ù. ÀÌ´Â ½ºÆÛÅ͸µÀÌ ³ôÀº Á¦¾î¼ºÀ» Á¦°øÇϱ⠶§¹®À̸ç, Àç·áÀÇ Æ¯¼ºÀ̳ª ±â°èÀû ¼ºÁúÀ» Á¶ÀýÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀ» ÁØ´Ù. µÑ°·Î, ½ºÆÛÅ͸µÀº ´Ù¾çÇÑ Àç·á¸¦ ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â versatility(´Ù¾ç¼º)À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ±Ý¼Ó, Àý¿¬Ã¼, ¹ÝµµÃ¼´Â ¹°·ÐÀÌ°í º¹ÇÕÀç·á±îÁö ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ ¹°ÁúÀ» ½ºÆÛÅ͸µ ±â¹ýÀ» ÅëÇØ È¿°úÀûÀ¸·Î ÁõÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼ºÀº ¸¹Àº »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ ÇʼöÀûÀ̸ç, ƯÁ¤ ÀÀ¿ëÀ» À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ Á¶ÇÕÀÇ Àç·á¸¦ ½±°Ô »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ Å« ÀÌÁ¡ÀÌ µÈ´Ù. ¼Â°·Î, ½ºÆÛÅ͸µÀº ¿ì¼öÇÑ ¹ÐÂø·ÂÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µÀ¸·Î ÁõÂøµÈ Àç·á´Â¡¦(»ý·«)
|