숭실대학교 신소재골학실험2 Deposition 공정 및 소자 제작 평가 결과보고서

1. 실험 제목

Deposition 공정 및 소자 제작 평가 결과보고서”이다. 본 실험에서는 다양한 증착(Deposition) 공정을 통해 나노소재를 합성하고, 이들로 제작된 소자의 특성을 평가하기 위해 실시되었다. 증착 공정은 나노소재의 성질과 성능에 큰 영향을 미치므로, 이를 이해하고 적절히 적용하는 것은 신소재 개발에 있어 필수적이다. 특히, 물질의 증착 방식에 따라 소자의 전기적, 광학적, 기계적 특성이 달라질 수 있으며, 이러한 특성들은 최종 소자의 응용 가능성에 직접적인 영향을 미친다. 본 실험에서는 여러 가지 증착 방법, 특히 물리적 증착(Physical Vapor Deposition, PVD)과 화학적 증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 방식을 비교하고 그 결과를 분석하였다. PVD는 일반적으로 높은 진공 상태에서 자재를 기화하여 기판 위에 증착하는 방식으로, 정밀한 두께 조절과 균일한 성막 형성이 가능하다. 반면, CVD는 기체 상태의 화학 물질을 이용해 기판에 고체로 변환시켜 증착하는 방법으로, 고균일성과 복잡한 구조 형성이 가능하다. 이러한 다양한 증착 기술들은 각각의 장단점이 있으며, 특정 응용 분야에 적합한 최적의 공정 조건을 찾는 것이 실험의…(생략)