3. 기기
ICP-MS는 시료주입장치, sampling interface, ion optics, quadrupole 및 검출기로 이루어져 있다.
⑴ 시료 주입 장치
시료를 ICP에 효율적으로 또한 재현성있게 주입하는 것은 매우 중요한 일이다. 시료 주입 방법은 여러 가지가 있으며 가장 적합하고 좋은 방법을 아래 사항들을 검토하고 난 후 선택해야 한다.
① 시료의 형태(고체, 액체, 기체)
② 시료중 분석하고자 하는 원소와 매질 원소의 농도 수준
③ 사용할 수 있는 시료의 양
④ 요구되는 정밀도와 정확도
⑤ 처리해야 할 시료의 수(요청되는 분석 속도)
fig.4 에는 각 시료의 형태에 따라 사용할 수 있는 시료 주입 방법을 열거하였다. 시료의 형태는 용액이 가장 많기 때문에 가장 보편적으로 이용되는 방법은 시료 용액을 안개상태로 만들어서 ICP에 넣어주는 것이다. 이것을 nebulization 이라고 하는데 크게 pneumatic nebulization과 ultrasonic nebulization 의 두 가지로 나눌 수 있다. pneumatic nebulizer 는 가장 간편하고 자동화하기 쉬워서 많이 이용되지만 시료 주입 효율이 낮다는 것 이외에는 다음과 같은 단점이 있다.
① 시료의 양이 1㎖ 이상 필요
② ICP에 들어간 용매(수분)가 oxide, hydroxide, hydrige등의 분자 이온을 형성하여 spectral interference를 일으킴.
③ 시료 용액중 salt 의 양이 1% 이상일 때 nebulizer와 torch의 capillary가 막혀 정밀도가 떨어짐.
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