MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)´Â ÃʼÒÇü ½Ã½ºÅÛÀ̳ª ÃʼÒÇü Á¤¹Ð±â°è¸¦ ¸»ÇÏ¸ç ¸¶ÀÌÅ©·Î ½Ã½ºÅÛ, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¸Ó½Å, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º µîÀ¸·Îµµ ºÎ¸£°í ÀÖ´Ù. MEMS ÀåÄ¡´Â Å©±â°¡ À۱⠶§¹®¿¡ ¾ÆÁÖ Á¼Àº °ø°£¿¡¼µµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±â°èÀåÄ¡ ¶Ç´Â »ç¶÷ÀÇ ½Åü ³»ºÎ¿¡ µé¾î°¡ ¿©·¯ °¡Áö È°µ¿À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. MEMS´Â ÀüÀÚ ¹× ±â°è ºÎÇ°µé·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ°í Ãʱ⿡´Â ¹ÝµµÃ¼°ø¹ý°ú ¼ÒÀ縦 ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¸¸µé¾ú´Ù. Á¤º¸±â±â °ü·Ã ½Ã½ºÅÛÀÇ ¼¾¼³ª ÇÁ¸°ÅÍ Çìµå¿Í °°Àº Áß¿äÇÑ ºÎºÐ¿¡ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç »ý¸í°øÇÐ, ¹Ì¼¼ À¯Ã¼ ¹× ÈÇкм®, ¿î¼Û ¹× Ç×°ø, ±¤ÇÐ, ±×¸®°í ·Îº¿ µî°ú °°Àº »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ ±¸Á¶, ºÎÇ° ¹× ½Ã½ºÅÛ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ÇÙ½É ±â¼ú·Î È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
|