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遺덊솢�꽦媛��뒪 �뿊�떆癒� �젅�씠����뒗 遺덊솢�꽦媛��뒪留뚯쑝濡� �젅�씠���瑜� �깮�꽦�븯�뒗 寃껋쑝濡� Xe2 �뿊�떆癒� �젅�씠���(諛쒖쭊�뙆�옣 172 nm), Kr2 �뿊�떆癒� �젅�씠���(146 nm) 諛� Ar2 �뿊�떆癒� �젅�씠���(126 nm)�쓽 3醫낅쪟媛� �엳怨�, 吏꾧났 �옄�쇅�쁺�뿭�뿉�꽌 怨좎텧�젰�씠 �뼸�뼱吏��뒗 �젅�씠���濡쒖꽌 二쇰ぉ�릺怨� �엳�떎. 異쒕젰���, Xe2 �뿊�떆癒� �젅�씠����뿉�꽌 50 MW, Kr2 �뿊�떆癒� �젅�씠��� 諛� Ar2 �뿊�떆癒� �젅�씠����뿉�꽌 �떗�닔 MW媛� �뼱�뒓 寃껋씠�굹 �럡�뒪�룺 �빟 10 ns濡� �뼸�뼱吏꾨떎. �뿬湲곗뿉�뒗 �쁽�옱源뚯�� ����삎 �쟾�옄 鍮쏆궡 �옣移섎�� �궗�슜�빐�빞 �븯吏�留�, 諛⑹쟾�뿬湲곗뿉 �쓽�븳 諛쒖쭊�씠 �떎�쁽�릺硫� �쓳�슜硫댁뿉�꽌 湲됱냽�븳 諛쒖쟾�씠 湲곕���맂�떎.
1) XeCl �젅�씠�졇
XeCl �젅�씠����뒗 Xe怨� �뿼�솕�닔�냼瑜� �룷�븿�븳 �뿬瑜⑥씠�굹 �꽕�삩 媛��뒪 �냽�뿉�꽌 諛⑹쟾�쓣 �씪�쑝耳� Xe怨� �뿼�냼濡� �맂 �뿬湲� 2 �썝�옄 遺꾩옄瑜� �삎�꽦�븯怨�, 洹� �빐由� �뿉�꼫吏��뿉 �긽�떦�븯�뒗 �뙆�옣 �빟 308 nm�뿉�꽌 諛쒖쭊�븯�뒗 �옄�쇅�꽑�쓽 �럡�뒪 �젅�씠����씠�떎. �쁽�옱 200 W湲됱쓽 寃껋씠 �떆�뙋 �릺怨� �엳�떎. 誘몄꽭 援щ찉�슟湲� 媛�怨듭씠 二쇱슂�븳 �슜�룄�씠吏�留�, 理쒓렐�뿉�뒗 �븘紐고띁�뒪 �떎由ъ퐯 諛뺣쭑�쓣 �뤃由� �떎由ъ퐯�솕�븯�뿬 �쟾�옄 �씠�룞�룄瑜� �넂�씠�뒗 �젅�씠��� �뼱�땺 怨듭젙�쓽 �쓳�슜�씠 二쇰ぉ�릺怨� �엳�떎. 遺덊솢�꽦 湲곗껜-�븷�씪�씠�뱶 �뿊�떆癒� �젅�씠��� 媛��슫�뜲�꽌�뒗 �뙆�옣�씠 湲멸린 �븣臾몄뿉, �꽍�쁺 愿묒꽟�쑀瑜� �씠�슜�븳 �젅�씠��� 愿� �쟾�넚�씠 媛��뒫�븯怨�, �젅�씠��� 硫붿뒪 �벑 �젅�씠���愿묒쓽 �옄�쑀濡쒖슫 議곗옉�씠 �슂援щ릺�뒗 �쓽猷� 遺꾩빞�뿉�쓽 �쓳�슜�룄 湲곕���릺怨� �엳�떎.
XeCl �젅�씠���(�뿊�떆癒� �젅�씠���) �옣移섏떆�뙋�쓽 �뿊�떆癒� �젅�씠��� �옣移� (LPX 200)�씠�떎. XeCl �젅�씠���濡쒖꽌, 諛섎났�쑉 400 Hz, �룊洹� 異쒕젰 60 W媛� 媛��뒫�븯�떎. �럡�뒪 �룺��� �빟 20 ns, �럡�뒪 �뿉�꼫吏��뒗 200~400 mJ�씠�떎. �룞�삎�쓽 �옣移섎줈 XeCl �젅�씠��� �쇅�뿉 F2 �젅�씠���(�룊洹� 異쒕젰 0.8 W), ArF �젅�씠��� �룊洹� 異쒕젰 30~40 W, KrF �젅�씠���(�룊洹� 異쒕젰 100~400 W), XeF �젅�씠���(�룊洹� 異쒕젰 30 W)媛� �엳�떎.(�옄猷� �젣怨� : �엺�떎-�뵾吏곸뒪 ����뙩(���(�깮�왂)
2) KrF �젅�씠���
3) ArF �젅�씠���
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�꼫吏��뿉 �긽�떦�븯�뒗 193 nm
1) `�젅�씠��� �썝由� 諛� �솢�슜` 源�湲곗��, �씠醫낆꽑, �꽦湲곗쿇, �뼇�옱�썒, �씠�썑�꽕 �뀻�몭, ����쁺�궗, 1997
2) `�젅�씠��� 湲곗큹�썝由� ��� �쓳�슜`�넚�닚�떖 �몭, 泥�臾멸컖, 1999
3) `�쁽���臾쇰━�븰` Arthur Beiser , 援먮낫臾멸퀬 , 1996
4) �몢�궛 �꽭怨� ���諛깃낵 �궗�쟾
5) IHI ENGINEERING REVIEW, vol.28, 123.
6) 孃뚩뿤 �쇅, �뿊�떆癒� �젅�씠����뿉 �쓽�븳 �엵�겕�젣�듃 �봽由고꽣�슜 �뿤�뱶�쓽 �끂利� 媛�怨�,
7) �젣35�쉶 �젅�씠��� �뿴媛�怨듭뿰援ы쉶吏�, vol.2, (1995)
8) `CD-ROM �쑝濡쒕낫�뒗 �젅�씠���怨쇳븰` 怨듯솉吏�, 源�蹂묓깭, 諛뺤갔�썒, �쑄洹쇱쁺, 議곌���떇, 怨듭뿭, 遺곸뒪�옄, 2002
9) �젅�씠������ 泥��젙媛�怨�, �씠醫낅챸 �몭, �븳由쇱썝, 2002
10) �젅�씠��� 湲곗큹�썝由ъ�� �쓳�슜, �넚�닚�떖 �몭, 獄뗦뻼�뼠, 1999
11) 理쒖떊�젅�씠���媛�怨듯븰, �씠諛깆뿰 �몭, �궪�꽦遺곸뒪, 2002
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