Àç·á°øÇÐ ±âÃÊ ½ÇÇè - ÁÖÀÚÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM) ½ÇÇ躸°í¼
1.½ÇÇè ¸ñÀû
ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(Scanning Electron Microscope : SEM)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àç·áÀÇ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ °üÂûÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ÇнÀÇÑ´Ù.
2. ½ÇÇè ¹æ¹ý
1)½ÃÇèÆíÀÇ Áغñ
¼¼¶ó¹Í ºÐ¸»ÀÇ ÀÔÀÚÅ©±â ¹× ¼Ò°áüÀÇ ´Ü¸é Æò±Õ °áÁ¤¸³ Å©±â¸¦ ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇÑ ½ÃÆíÁغñ °úÁ¤¿¡ µû¶ó ½ÃÇèÆíÀ» ÁغñÇÑ´Ù.
¨ç½ÃÇèÆíÀÇ Àý´Ü
¼¼¶ó¹Í ºÐ¸»ÀÇ °æ¿ì¿¡´Â Ä«º» Å×ÀÙ À§¿¡ ºÐ¸»À» ¶³¾î¶ß·Á ÁغñÇϸç, ¼Ò°áüÀÇ °æ¿ì¿¡´Â ´Ü¸é ºÐ¼®À» À§ÇØ ½ÃÇèÆíÀ» ÀûÀýÇÑ Å©±â·Î Àý´ÜÇÏ¿© ÀÇ Å©±âÀÇ ´Ü¸éÀ» °®´Â ½ÃÇèÆíÀ» Á¦ÀÛÇÑ´Ù.
¨è½ÃÇèÆíÀÇ ¿¬¸¶(polishing)
ÁÖÀÚÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ¸·Î ¼Ò°áüÀÇ Ç¥¸éÇü»óÀ» ºÐ¼®Çϱâ À§Çؼ´Â ¹úÅ©(bulk)Àç·áÀÇ ´Ü¸éÀ» ¿¬¸¶ÇÏ¿© ¸Å²öÇÑ Ç¥¸éÀ» ¾ò¾î¾ß ÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ´Ù. ½ÃÇèÆí ¿¬¸¶±â¿¡ ½ÃÇèÆíÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó »çÆ÷, ¾Ë·ç¹Ì³ª ºÐ¸», ´ÙÀ̾Ƹóµå ºÐ¸» µîÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Ç¥¸éÀ» ¸Å²ô·´°Ô ¿¬¸¶ÇÑ´Ù.
¨é½ÃÇèÆíÀÇ ´Ü¸éÀÇ ¼ÕÁú(cleaning)
½ÃÇèÆíÀÇ ´Ü¸éÀÌ ¿À¿°µÈ °æ¿ì ±ú²ýÇÏ°í ±ÕÀÏÇÑ Àüµµ¼º ÄÚÆø·À» ¾ò±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ÃÊÀ½ÆÄ ¼¼Ã´±â³»¿¡ ¾ËÄÚ¿Ã, ¾Æ¼¼Åæ, µîÀ» ¿ë¸Å·Î »ç¿ëÇÏ¿© ½ÃÇèÆí ´Ü¸éÀÇ À̹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÑ´Ù. ½ÃÇèÆí°ú ½Ã·á´ë(st¡¦(»ý·«)
|