SEM(Scanning Electron Microscope) ÁÖ»ç Çö¹Ì°æ
¸ñ Â÷
1. SEMÀ̶õ
2. SEMÀÇ °³¹ß ¿ª»ç
3. SEMÀÇ ÀÛµ¿ ¿ø¸®
4. SEMÀÇ ±¸¼º
5. SEMÀÇ ºÐÇØ´É
6. SEMÀÇ ½ÃÆíÁغñ
7. SEMÀ¸·Î °üÂûÇÑ ¿©·¯ °¡Áö ¿µ»ó
1. SEMÀ̶õ
SEMÀº ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀ¸·Î¼ °íü »óÅÂÀÇ ¹Ì¼¼Á¶Á÷°ú Çü»óÀ» °üÂûÇϴµ¥ ¸Å¿ì À¯¿ëÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ´Â ºÐ¼®±â±â Áß ÇϳªÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ÃÖ´ë È®´ë¹èÀ²Àº 1,500¹èÀÌ´Ù. ÀÌ °ªÀÌ»óÀº ÇØ»ó´É(Resolution)À̶ó°í ÇÏ´Â ·»Áî(ºû)ÀÇ ¼ºÁú¿¡ ÀÇÇØ Á¦ÇÑÀ» ¹Þ´Â´Ù. ºÐÇØ´É (Resolution)Àº illumination systemÀÇ ÆÄÀå, ´ë¾È·»Á ´ë¹°·»ÁîÀÇ numerical aperture(NA)¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÈ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °ü°è´Â Abbe¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¼öÇÐÀûÀ¸·Î R ¡ë 0.61 [¥ë]/NA·Î¼ Ç¥½ÃµÇ¾ú´Ù. µû¶ó¼ 1.4ÀÇ numerical aperture¸¦ °¡Áø ´ë¹°·»Á »ç¿ëÇÏ¸é °¡½Ã±¤¼±([¥ë]avg ¡ë 550nm)À» »ç¿ëÇÏ´Â ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ °æ¿ì¿¡´Â 0.2 §ÀÌ´Ù. Áï ±¤ÇÐÇö¹Ì °æÀ¸·Î´Â µÎ Á¡ »çÀÌ°¡ 0.2§º¸´Ù °¡±î¿î °Å¸®´Â ±¸º°ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù´Â À̾߱Ⱑ µÈ´Ù.
±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ÀÌ·¯ÇÑ ´ÜÁ¡À» ±Ø¡¦(»ý·«)
|