LCD ½ºÆÛÅ͸µ(sputtering)
1. ½ºÆÛÅ͸µÀÇ ¿ø¸®
½ºÆÛÅ͸µ(sputtering) Çö»óÀº 1852³â Grove¿¡ ÀÇÇÏ¿© óÀ½ ¹ß°ßµÇ¾úÀ¸¸ç[3], ÇöÀç´Â
¿©·¯ °¡Áö ¹Ú¸·ÀÇ Çü¼º¿¡ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µ(sputtering)Àº ³ôÀº¿¡³ÊÁö(] 30 eV)¸¦ °¡Áø ÀÔÀÚµéÀÌ target¿¡ Ãæµ¹ÇÏ¿© target ¿øÀڵ鿡°Ô ¿¡³ÊÁö¸¦ Àü´ÞÇØÁÜÀ¸·Î½á target¿øÀÚµéÀÌ ¹æÃâµÇ´Â Çö»óÀÌ´Ù. ¸¸ÀÏ Ãæµ¹ÇÏ´Â ÀÔÀÚµéÀÌ ¾çÀÇ ÀÌ¿Â(positive -ion)À̶ó¸é cathodic sputteringÀ̶ó°í ºÎ¸£´Âµ¥, ´ëºÎºÐÀÇ ½ºÆÛÅ͸µÀº cathodic sputteringÀÌ´Ù.
º¸Åë ½ºÆÛÅ͸µ¿¡´Â ¾çÀÇ ÀÌ¿ÂÀÌ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ´Âµ¥, ±× ÀÌÀ¯´Â ¾çÀÇ ÀÌ¿ÂÀº ÀüÀå(electric field)À» Àΰ¡ÇØ ÁÜÀ¸·Î½á °¡¼ÓÇϱⰡ ½±°í ¶ÇÇÑ target¿¡ Ãæµ¹Çϱâ Á÷Àü target¿¡¼ ¹æÃâµÇ´Â AugerÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇÏ¿© Áß¼ºÈµÇ¾î Áß¼º ¿øÀÚ·Î target¿¡ Ãæµ¹Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
( 1 ) À̿°ú °íü Ç¥¸é°úÀÇ ¹ÝÀÀ ÀÌ¿ÂÀÌ °íü Ç¥¸é¿¡ Ãæµ¹ÇÒ °æ¿ì ´ÙÀ½°ú °°Àº Çö»óÀÌ ÀϾÙ.
¨ç ÀÌ¿Â ¹Ý»ç
ÀÌ¿ÂÀÌ °íü Ç¥¸é¿¡ Ãæµ¹ÇÏ¿© Áß¼ºÈ(neutr alization)µÈ ÈÄ, ¹Ý»ç(reflection)µÇ´Â °æ¿ì´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ion Scattering Spectroscopy¿¡ ÀÌ¿ëµÈ´Ù. Ion Scattering Spectroscopy´Â Ç¥¸éÃþ¡¦(»ý·«)
|
So