주사전자현미경[Scanning Electron Microscope-SEM]

거리를 작동거리라 하는 데, 작동거리가 적을수록 더욱 작은 점을 형성할 수 있으므로 영상의 해상력이 증대된다. 대물렌즈속에는 주사코일, 조리개와 비점수차코일 등이 들어있으며, 대물렌즈로 전자빔을 시료의 표면에 초점을 맞추므로 영상의 배율이 변하여도 초점은 변하지 않는다.

3. 축조정 코일 : 전자총의 중심축과 집속렌즈의 중심축이 기계적으로 위치가 흩어져 있으면 전자총에서 방사되어 집속렌즈에 들어가는 전자선이 어긋나게 된다. 이는 렌즈의 수차발생의 원인이 되며 분리능을 떨어뜨리게 된다. 이때 전자총의 음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해 X-Y축방향으로 적당량을 편향하여 집속렌즈의 축에 일치하게 하는 기능을 말한다.

4. 주사 코일 : 주사 코일은 집속렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하여 전자선을 대물렌즈 중심의 한 점에 편향시키는 역할을 하는 것이다. 이 점에서 대물렌즈에 의해 다시 확대되며 이를 전자선이 시간에 따라 왕복하게 하는 작용을 하게 된다. 시편에 충돌한 뒤 여러지점에서 전자선의 전류는 CRT에서 동시에 전류가 같은 지점에 흐르게 된다. 그러므로 직사각형 모양으로 시편에서 주사를 하게 되면 CRT에서도 같이 주사하게 된다.

5. 비점보정 코일(Stigmator) : 오염물 등에 의해 생기는 산란전자 등은 전자선의 빔상을 비뚤게 한다. 이 결과 초점이 맞지 않게 되어 해상도를 떨어뜨리게 되는데, 이를 보정하게 하는 코일을 말하며 적당한 전류를 통해 보완하는 방법이다.

6. 시편과 시편 홀더 : SEM시료는 스터드 등의 금속제 받침에 놓이고, 이 받침은 홀더를 통하여 접지되어 있다. 시편으로 입사된 전자가 방전되지 않으면, 뒤에 입사되는 전자빔에 척력을 가하여 시료에 입사되는 전자의 수가 감소되며 2차 전자의 진로에 영향을 주어 영상의 질을 떨어뜨리게 된다. 따라서, 세라믹이나 고분자 등의 부도체시료는 탄소막의 진공증착이나 금-팔라듐을 스퍼터링(sputtering)하여 전도성 코팅을 하여야 한다. 시편 홀더는 X, Y와 Z축 방향의 이동과

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