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MEMS의 기초 (Foundations of MEMS , Chang Liu) 연습문제 솔루션

등록일 : 2011-12-31
갱신일 : 2017-05-09


  [솔루션] MEMS의 기초(Foundations of MEMS, Chang Liu) 연습문제 솔루션.zip   [size : 2,286 Kbyte]
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[솔루션] MEMS의 기초(Foundations of MEMS, Chang Liu) 연습문제 솔루션 입니다.

총 1장부터 16장 까지 있습니다!

공부 할 때 정말 도움이 많이 됬던 자료 입니다. 수업을 따라가면서 이해 안가는 부분이 있으면 체크 하는 방식도 괜찮으며, 또 수업이 들은지 오래되어 다시 공부하고자 할때 도움이 되는 솔루션입니다..^^
그리
SOLCpt01 Introduction

SOLCpt02 IntroFab

SOLCpt03E lecMechConcepts

SOLCpt04E lectrostatic

SOLCpt05 Thermal

SOLCpt06 Piezoresistive

SOLCpt07 Piezoelectric

SOLCpt08 Magnetic

SOLCpt09- Summary

SOLCpt10 FabBulk

SOLCpt11- 5FabSurface

SOLCpt12- 5PolymerMEMS

SOLCpt13- 2Fluidic

SOLCpt14-5 SPM

SOLCpt15-4O pticalMirror

SOLCpt16 ProcessIntegration

으로 구성 되어있습니다.

그리고 1장의 한 부분을 발췌하면!(설계 부분에서는 수식이 나오나 여기서 나타내기에는 제한이 있으므로 책과 맞는지 확인하고 받으시길 바랍니다..^^)

Problems
Problem 1: Review
Read the following sections in the paper titled silicon as a mechanical material by Kurt
Petersen: Sections I, II, IV, VI, VIII [10]. The paper can be found in the library or on-line.
Problem 2: Review
Locate the following MEMS-specific journals and conference proceedings in your library or online:
(1) Sensors and Actuators (S&A); (2) Proceedings of IEEE Annual International Workshop
on Micro Electro Mechanical Systems (the name was changed to IEEE International Conference
on Micro Electro Mechanica
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