¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿ø¸® ¹× ÀÀ¿ë
»ýÈ°¼ÓÀÇ ½Å¼ÒÀç
¹Ý µµ ü (Semiconductor)¶õ ?
¡° ¿ø·¡´Â °ÅÀÇ Àü±â°¡ ÅëÇÏÁö ¾ÊÁö¸¸ ºûÀ̳ª ¿, ¶Ç´Â ƯÁ¤ ºÒ¼ø¹°À»
°¡ÇØ ÁÖ¸é Àü±â°¡ ÅëÇÏ°í ¶ÇÇÑ Á¶Àýµµ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°Áú "
¸¶¹ýÀǵ¹, ÀüÀÚ »ê¾÷ÀÇ ²É, »ê¾÷ÀÇ ½Ò, 20¼¼±â ÃÖ´ëÀÇ ¹ß¸íÇ°.
¹ßÀü
1946 Áø°ø°ü ¿¡´Ï¾Ç ÄÄÇ»ÅÍ ¹ß¸í--- 1948³â Æ®·£Áö½ºÅÍ ¹ß¸í --- 1958³â
¹ÝµµÃ¼IC(ÁýÀûȸ·Î)¹ß¸í--- 1970³â´ë LSI -- 1980³â´ë VLSI --1990³â´ë
Áß¹Ý ULSI --2000³â´ë GSI ½Ã´ë
Àü±â Àüµµ¼ºÀÇ Â÷ÀÌ : ÀÚÀ¯·Ó°Ô µ¹¾Æ´Ù´Ï´Â ÀüÀÚÀÇ ¾ç¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÊ
ÀÚÀ¯ÀüÀÚÀÇ Åº»ý : ±¸¼ÓÀüÀÚ°¡ ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹Þ¾Æ ÀÏÁ¤ ÀÌ»óÀÇ ¿¡³ÊÁö »óÅ°¡ µÇ¸é ÀÚÀ¯ÀüÀÚ°¡ µÈ´Ù.
Àü±â Àüµµ¼º¿¡ µû¶ó µµÃ¼, ºÎµµÃ¼, ¹ÝµµÃ¼ ±¸ºÐ
¹ÝµµÃ¼ÀÇ Æ¯Â¡
¼èºÙÀÌ´Â °¡¿Çϸé ÀúÇ×ÀÌ Ä¿ÁöÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼´Â ¹Ý´ë·Î ÀÛ ¾Æ Áø´Ù.
¹ÝµµÃ¼¿¡ ¼¯¿© ÀÖ´Â ºÒ¼ø¹°ÀÇ ¾ç¿¡ µû¶ó ÀúÇ×À» ¸Å¿ì Ä¿Áö°Ôµµ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
3) ±³·ùÀü±â¸¦ Á÷·ùÀü±â·Î ¹Ù²Ù´Â Á¤·ùÀÛ¿ëÀ» ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼°¡ ºûÀ» ¹ÞÀ¸¸é ÀúÇ×ÀÌ ÀÛ¾ÆÁö°Å³ª ¡¦(»ý·«)
1) nÇü ¹ÝµµÃ¼ - ÀüÀڹеµ°¡ Á¤°ø¹Ðµµ º¸´Ù Å©°Ô ÇÏ´Â ºÒ¼ø¹°, µµ³Ê(donor) ºÒ¼ø¹°À» ÇÔÀ¯ÇÑ ¹ÝµµÃ¼
2) pÇü ¹ÝµµÃ¼ - Á¤°ø¹Ðµµ°¡ ÀüÀڹеµº¸´Ù Å©°Ô ÇÏ´Â ºÒ¼ø¹°, ¾ï¼ÁÅÍ(acceptor) ºÒ¼ø¹°À» ÇÔÀ¯ÇÑ ¹ÝµµÃ¼
¨ç nÇü ¹ÝµµÃ¼
¨è pÇü ¹ÝµµÃ¼
¨é º¸»ó ¹ÝµµÃ¼
|
÷°¡
µµÇÎ(doping) : ºÒ¼ø¹°À» ¹ÝµµÃ¼¿¡ ÷°¡ÇÏ´Â °Í
106 ¡ 1xxx°³ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀÚ ¼Ó¿¡ ´ÜÁö ÇÑ °³ÀÇ ºÒ¼ø¹°¿øÀÚ¸¦ µµÇνÃÅ°¸é ºÒ¼ø¹°¿øÀÚ´Â Àü±âÀüµµ¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°Ô µÇ¾î 108°³ÀÇ ¿øÀÚ ¼Ó¿¡ 1°³ÀÇ ºÒ¼ø¹°À» ÷°¡ÇÏ´Â °æ¿ì Àüµµµµ°¡ 10¹è ÀÌ»ó Áõ°¡
°áÁ¤°ÝÀÚ¿¡ °íÁ¤µÇ¾î ÀÖÀ¸¹Ç·Î Àü±âÀüµµ¿¡ ±â¿©ÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù
°áÁ¤ Áß¿¡ ÀüÀÚ¸¦ Á¦°øÇØÁÖ´Â ºÒ¼ø¹° : µµ³Ê(donor)ºÒ¼ø¹°
µµ³Ê¸¦ ÇÔÀ¯ÇÑ ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ ÀüÀڹеµ´Â ÀüÀÚ-Á¤°ø½Ö »ý¼º¿¡ ÀÇÇÑ Á¤°ø¹Ðµµ¿¡ ºñÇؼ Å©°Ô µÇ¹Ç·Î nÇü ¹ÝµµÃ¼¶ó ÇÑ´Ù.
µµ³Ê´Â ÀÛÀº ¿¡³ÊÁö¸¦ ¾ò¾î ÀüÀÚ¸¦ Àüµµ´ë¿¡ ¹æÃâ½ÃÅ°°í ±× ÀÚ½ÅÀº (+)ÀÌ¿ÂÀÌ µÇ¹Ç·Î ±×¸²°ú °°ÀÌ Àüµµ´ë ¾Æ·¡ °¡±î¿î °÷¿¡ µµ³ÊÁØÀ§(donor level)À» ¸¸µé°Ô µÈ´Ù.
µµ³Ê¿øÀڷκÎÅÍ ÀüÀÚ¸¦ ¹æÃâ½ÃÅ°´Âµ¥ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö´Â SiÀÇ °æ¿ì ¾à 0.01¡0.05[eV]Á¤µµÀÌ´Ù.
º¸Åë nÇü ¹ÝµµÃ¼¿¡¼´Â Á¤°øÀÇ ¼ö´Â ´ë´ÜÈ÷ ÀûÀ¸¸ç Àü±âÀüµµ´Â ÁÖ·Î ÀÚÀ¯ÀüÀÚÀÇ À̵¿¿¡ ÀÇÇؼ ÀÌ·ç¾îÁø´Ù. ±×·¯¹Ç·Î ÀüÀÚ¸¦ ´Ù¼öij¸®¾î(majority carrier), Á¤°øÀ» ¼Ò¼öij¸®¾î(minority carrier)¶ó°í ÇÑ´Ù.
¨è pÇü ¹ÝµµÃ¼
¥²Á·ÀÇ B, Al, Ga, In µîÀÇ ºÒ¼ø¹°À» ÷°¡ÇÑ ¹ÝµµÃ¼
ÀüÀÚ¸¦ ¹ÞÀº B¿øÀÚ´Â (-)ÀÌ¿ÂÀ¸·Î µÇ³ª µµ³ÊÀÇ °æ¿ì¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î °íÁ¤µÇ¾î Àü±âÀüµµ¿¡ ±â¿©ÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù. ÀÌ B¿øÀÚ ºÒ¼ø¹°À» ¾ï¼ÁÅÍ(acceptor)¶ó ÇÑ´Ù
¾ï¼ÁÅÍ ÁØÀ§(acceptor level)Àº °¡ÀüÀÚ´ëÀÇ ¹Ù·Î À§¿¡ À§Ä¡
´Ù¼öij¸®¾î´Â Á¤°øÀÌ µÇ°í ¼Ò¼öij¸®¾î´Â ÀüÀÚ°¡ µÈ´Ù.
¨é º¸»ó ¹ÝµµÃ¼
µµ³Ê¿Í ¾ï¼ÁÅÍ ºÒ¼ø¹°À» ¸ðµÎ Æ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ °áÁ¤Àº ¾î¶² ºÒ¼ø¹°ÀÇ ³óµµ°¡ ´õ ¸¹Àº°¡¿¡ µû¶ó nÇü°ú pÇü Áß Çϳª°¡ µÉ ¼ö Àִµ¥, ±× ÀÌÀ¯´Â µµ³Ê¿øÀÚ¿¡ ÀÖ´Â ÀüÀÚ°¡ ¸ðµç °¡´ÉÇÑ ¾ï¼ÁÅÍ ÁØÀ§¸¦ ä¿ï ¼ö Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
¸¸¾à ±×¸²(a)°ú °°ÀÌ µµ³Ê³óµµ ND[cm-3]°¡ ¾ï¼ÁÅÍ ³óµµ NA[cm-3]º¸´Ù Å©¸é nÇü ¹ÝµµÃ¼°¡ µÇ°í Àüµµ´ë¿ªÀÇ ÀüÀÚ³óµµ°¡ ND